【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于氟氧化钇粉末及其制备的，具体涉及一种等离子体耐腐蚀热喷涂用氟氧化钇粉末及其制备方法。
技术介绍
1、在半导体制造和显示技术中，等离子体工艺产生的高温和腐蚀性环境对设备的材料提出了极高的要求。氟氧化钇（yof）因其独特的耐腐蚀性和高温稳定性，已成为这些领域的理想材料。现有氟氧化钇粉末的制备方法，一般是向钇源中通入氟化氢，加入沉淀剂进行氟化后，在酸性条件下，制成的氟氧化钇前驱体，经过洗涤，在600-1200℃煅烧制得。但是目前制备方法所制备的氟氧化钇，存在颗粒分布不均、团聚现象严重以及涂层附着力不佳等问题。
2、cn112357945a公开了一种制备高纯氟氧化钇的方法，向装有钇料液反应容器中加入沉淀剂草酸，再加入hf溶液，将稀土沉淀完全；老化后，用去离子水过滤洗涤至ph为6-8；烘干、灼烧、升温、保温，即得氟氧化钇。制备的氟氧化钇绝对纯度高＞99.998%，具有一定特征形貌（粒子小而均匀、分散不团聚），用于发光、永磁、催化、抛光材料中。但是采用的草酸、氢氟酸价格昂贵，既有腐蚀性又有毒性，对环境和健康均不利。
...【技术保护点】
1.一种等离子体耐腐蚀热喷涂用氟氧化钇粉末的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的等离子体耐腐蚀热喷涂用氟氧化钇粉末的制备方法，其特征在于：所述的钇离子溶液是将钇盐晶体溶解在去离子水中，得到0.8-1.2mol/L的钇离子溶液；所述的钇盐为醋酸钇、乙醇钇、丙醇钇、异丙醇钇中的一种。
3.根据权利要求1所述的等离子体耐腐蚀热喷涂用氟氧化钇粉末的制备方法，其特征在于：所述的氟源溶液是将氟源溶解在去离子水中，得到1.8-2.2mol/L的氟源溶液；所述的氟源为三氟乙酸、氟化铵中的一种或两种的混合物。
4.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种等离子体耐腐蚀热喷涂用氟氧化钇粉末的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的等离子体耐腐蚀热喷涂用氟氧化钇粉末的制备方法，其特征在于：所述的钇离子溶液是将钇盐晶体溶解在去离子水中，得到0.8-1.2mol/l的钇离子溶液；所述的钇盐为醋酸钇、乙醇钇、丙醇钇、异丙醇钇中的一种。
3.根据权利要求1所述的等离子体耐腐蚀热喷涂用氟氧化钇粉末的制备方法，其特征在于：所述的氟源溶液是将氟源溶解在去离子水中，得到1.8-2.2mol/l的氟源溶液；所述的氟源为三氟乙酸、氟化铵中的一种或两种的混合物。
4.根据权利要求1所述的等离子体耐腐蚀热喷涂用氟氧化钇粉末的制备方法，其特征在于：所述的分散剂为聚乙烯醇、聚甲基吡咯烷酮、聚丙烯酸、聚丙烯酸钠、六偏磷酸钠中的一种或者多种的混合物。
5.根据权利要求1所述的等离子体耐腐蚀热喷涂用氟氧化钇粉末的制备方法，其特征在于：所述的造粒形状调整剂为聚丙烯酰胺、羧甲基纤维素中的一种，加入量为粉末重量的0.001%~0.012%。...
【专利技术属性】
技术研发人员：段超，赵汝凯，
申请(专利权)人：山东拓普新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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