【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及准分子激光器，具体为基于modbus的准分子激光器控制系统。
技术介绍
1、modbus准分子激光器是一种基于串行通信的开放式网络协议，广泛应用于工业自动化系统中。该协议由准分子激光器modicon（现为准分子激光schneneider准分子激光器electric）在准分子激光器1979准分子激光器年推出，用于连接电子控制器和传感器/执行器等设备，modbus准分子激光器支持多种传输媒介，如双绞线、光纤或无线电，以及准分子激光器tcp/ip准分子激光器和准分子激光器rtu准分子激光器等多种数据格式。
2、准分子激光器是一种利用准分子态原子或分子之间的能量跃迁来产生激光辐射的设备。准分子激光器的工作原理基于准分子激发态的形成和退激发过程。这类激光器通常使用稀有气体和卤素气体的混合物作为工作气体，通过高压放电产生等离子体态，随后气体混合物中的能级跃迁导致处于激发态的原子或分子与激发态的原子或分子相互作用，形成准分子激发态。在准分子激发态的作用下，反应性气体分子经历了电化学反应，形成活化的原子或分子，并且激发态的原子...
【技术保护点】
1.基于ModBus的准分子激光器控制系统，包括激光腔和多个电磁阀控制电路，其特征在于，所述激光腔的一端设置有压力传感器，所述激光腔的另一端连接手动阀门第一端，所述手动阀门的第二端分别连接有电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4，所述电磁阀1的第二端连接有气瓶A，所述电磁阀2的第二端连接有气瓶B，所述电磁阀3的第二端连接有气瓶C，所述电磁阀4的第二端连接有真空泵，多个所述电磁阀控制电路分别用于控制电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4。
2.根据权利要求1所述的基于ModBus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述气瓶A的内部设置有氟气F2，所述气瓶A内...
【技术特征摘要】
1.基于modbus的准分子激光器控制系统，包括激光腔和多个电磁阀控制电路，其特征在于，所述激光腔的一端设置有压力传感器，所述激光腔的另一端连接手动阀门第一端，所述手动阀门的第二端分别连接有电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4，所述电磁阀1的第二端连接有气瓶a，所述电磁阀2的第二端连接有气瓶b，所述电磁阀3的第二端连接有气瓶c，所述电磁阀4的第二端连接有真空泵，多个所述电磁阀控制电路分别用于控制电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4。
2.根据权利要求1所述的基于modbus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述气瓶a的内部设置有氟气f2，所述气瓶a内部的压力为0.1mpa。
3.根据权利要求1所述的基于modbus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述气瓶b的内部设置有氩气ar，所述气瓶b内部的压力为0.1mpa。
4.根据权利要求1所述的基于modbus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述气瓶c的内部设置有氖气ne，所述气瓶c内部的压力为0.25mpa。
5.根据权利要求1所述的基于modbus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述激光腔内部的当前压力值设置为g1，所述激光腔内部真空压力值为g2。
6.根据权利要求5所述的基于modbus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述激光腔进行充气时的第一阶段压力值设置为g3，所述激光腔进行充气时的第二阶段压力值设置为g4，所述激光腔进行充气时的第三阶段压力值设置为g5。
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【专利技术属性】
技术研发人员：李谚，武文博，
申请(专利权)人：合肥意克赛激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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