【技术实现步骤摘要】
本揭示案是关于一种测试系统及测试方法，特别是指一种通过神经网络辨识测试过程中产生的探针标记的测试系统与测试方法。
技术介绍
1、在集成电路制造技术中，测试是检测集成电路制造过程中产生的缺陷并确定这些缺陷根本原因的最后一步。在封装过程之前，要在晶圆之间进行电路探针检测，以验证每个晶片是否符合产品规格。
2、由于探针标记检查由操作人员执行，因此可能会在过程中引入人为错误，从而影响测试品质，并且非常耗时。例如，测试周期时间和良率都会受到影响。根据客户投诉检测探针标记也会影响制造商的整体服务品质，而且需要操作员和工程师处理也会增加生产成本。因此，上市时间、废品率和产品品质都会受到影响。因此，对自动分析探针标记并采取纠正措施的方法和系统的需求巨大，这样才能提高客户服务品质。
技术实现思路
1、本揭示案的一实施例是关于一种测试系统，包含评估子系统、神经网络子系统以及程序控制处理器。评估子系统从探针装置接收被测试晶圆的测试图像。程序控制处理器响应于探针装置获得测试图像，控制评估子系统以执行评...
【技术保护点】
1.一种测试系统，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的测试系统，其中该评估子系统还用以通过将该测试图像与该分析数据中的经分析图像相比较而产生训练数据到该神经网络子系统，
3.根据权利要求2所述的测试系统，其中该神经网络子系统还用以由该训练数据训练以更新在该神经网络子系统中的神经网络模型中的多个权重值，该神经网络模型在神经网络处理器中操作。
4.根据权利要求1所述的测试系统，其中该图像规格包含所述多个探针标记的坐标、所述多个探针标记的数量、该测试晶圆中的至少一个焊盘的基板的检查或其组合。
5.根据权利要求1所述的测...
【技术特征摘要】
1.一种测试系统，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的测试系统，其中该评估子系统还用以通过将该测试图像与该分析数据中的经分析图像相比较而产生训练数据到该神经网络子系统，
3.根据权利要求2所述的测试系统，其中该神经网络子系统还用以由该训练数据训练以更新在该神经网络子系统中的神经网络模型中的多个权重值，该神经网络模型在神经网络处理器中操作。
4.根据权利要求1所述的测试系统，其中该图像规格包含所述多个探针标记的坐标、所述多个探针标记的数量、该测试晶圆中的至少一个焊盘的基板的检查或其组合。
5.根据权利要求1所述的测试系统，其中该评估子系统用以将该分析数据与多个品质阈值进行比较，并且当该分析数据中的至少一个值未能满足所述多个品质阈值中的对应阈值时，产生指示第一故障结果的该第一探针标记检查结果。
6.根据权利要求5所述的测试系统，其中该程序控制处理器还用以响应于指示该第一故障结果的该第一探头标记检查结果产生指示第二故障结果的该测试结果。
7.根据权利要求5所述的测试系统，其中该分析数据包含所述多个探针标记与该被测试晶圆中的多个焊盘的多个边缘之间的多个距离。
8.根据权利要求1所述的测试系统，其中，还包含：
9.根据权利要求8所述的测试系统，其中该神经网络子系统还用以存取该清单数据并且由训练数据训练以更新在该神经网络子系统中操作的神经网络模型。
10.根据权利要求1所述的测试系统，其中该评估子系统还用以根据由该程...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡佳霖，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。