电极结构、超声换能器及电子设备制造技术

技术编号:43565005 阅读:18 留言:0更新日期:2024-12-06 17:36
本申请实施例公开了一种电极结构、超声换能器及电子设备。电极结构包括层叠设置的:金属层和抗氧化的防护层,所述防护层覆盖在所述金属层的第一面,所述防护层与所述金属层电性接触;所述防护层和所述金属层之间设置有连接层,所述连接层具有导电性,和/或,所述金属层的第二面上设置有粘接层,所述粘接层具有导电性,所述第二面与所述第一面相对设置。本申请在电极结构的金属层上覆盖抗氧化的防护层,可以避免外界水汽和氧气对金属层造成侵蚀,防止在金属层表面形成氧化层,从而保证电极结构与其相连接的电极之间始终保持良好的电性接触,避免发生开路的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及超声换能器,更加具体来说,本申请涉及一种电极结构、超声换能器及电子设备


技术介绍

1、超声换能传感器利用压电材料的机械-电转化特性,通过在电压作用下向探测物表面发射超声波,同时检测从物体表面返回的超声波信号,可被应用于生物特征识别领域。将超声换能器设置在智能手机屏幕的特定区域,能实现用户身份认证。基于超声换能器传感技术的指纹识别系统,其优势在于它不仅对湿润、干燥或脏污的手指都相对不敏感,而且可以穿过厚的玻璃屏幕和其他材料,如屏幕保护膜等。因此,它为智能手机制造商提供了更多的设计自由度,并且可增强产品的抗干扰性及安全性。

2、超声换能器一般由底电极、压电层、顶电极组成,在某些场景中,还包含位于顶电极上方的保护层,对传感器进行防护。顶电极位于压电层上方,顶电极的一部分与激励电极连接。在工作模式下,芯片激励电极接收到外部电连接件输入的激励信号,藉由激励电极与顶电极的连接,将驱动信号传递给顶电极,对压电层实施控制。

3、由于激励电极金属表面存在自然氧化层,与顶电极的连接位置常出现开路,造成可靠性问题。因此,如何解决电极的金属表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电极结构,其特征在于,包括层叠设置的:金属层和抗氧化的防护层,所述防护层覆盖在所述金属层的第一面,所述防护层与所述金属层电性接触;

2.根据权利要求1所述的电极结构,其特征在于,所述防护层和所述连接层含有相同的金属元素。

3.根据权利要求1或2所述的电极结构,其特征在于,所述防护层包括氮化钽、氮化钛、氮铝钛、钛钨、氮化钼中的任意一种材料;

4.根据权利要求1所述的电极结构,其特征在于,当所述金属层的第二面上设置有粘接层时,所述粘接层和所述金属层之间设置有阻挡层,所述阻挡层具有导电性,所述阻挡层由惰性材料构成。

5.一种超声换能器,其...

【技术特征摘要】

1.一种电极结构,其特征在于,包括层叠设置的:金属层和抗氧化的防护层,所述防护层覆盖在所述金属层的第一面,所述防护层与所述金属层电性接触;

2.根据权利要求1所述的电极结构,其特征在于,所述防护层和所述连接层含有相同的金属元素。

3.根据权利要求1或2所述的电极结构,其特征在于,所述防护层包括氮化钽、氮化钛、氮铝钛、钛钨、氮化钼中的任意一种材料;

4.根据权利要求1所述的电极结构,其特征在于,当所述金属层的第二面上设置有粘接层时,所述粘接层和所述金属层之间设置有阻挡层,所述阻挡层具有导电性,所述阻挡层由惰性材料构成。

5.一种超声换能器,其特征在于,包括权利要求1-4任一项所述的电极结构。

6.根据权利要求5所述的超声换能器,其特征在于,所述超声换能器包括基底,所述基底的第一面上设...

【专利技术属性】
技术研发人员:许钰旺韦亚曾利忠杜灿鸿
申请(专利权)人:汇科新加坡控股私人有限公司
类型:新型
国别省市:

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