【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及超声波换能器，尤其涉及一种超声波换能器及其制备方法、超声波指纹模组及电子设备。
技术介绍
1、超声波换能器利用压电材料的机械-电转化特性，一方面藉由驱动电路输出的电压激励对外发射超声波信号，另一方面将从外界反射回来的超声波信号转换为电信号，从而获取到外界感应面信息，可被广泛应用于包括但不限于生物特征识别领域(例如，一个示例的应用可以用于超声波指纹模组，可采集指纹信息以进行指纹识别)。现有的制备工艺得到的超声波传感器的性能较差，因此，有必要改善超声波换能器的制备工艺，以提高制备出的超声波换能器的性能。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种超声波换能器及其制备方法、超声波指纹模组及电子设备，以至少部分地改善上述问题。
2、根据本申请实施例中的第一方面，提供了一种超声波换能器的制备方法，包括：获得形成有底电极和压电层的衬底，其中，所述压电层覆盖所述底电极；将顶电极浆料注入所述压电层上方的容纳空间，所述顶电极浆料在所述容纳空间内自流平并固化后形成顶电极，以得到所述超
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1.一种超声波换能器的制备方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述顶电极的至少一个外侧壁与所述衬底的法线之间的夹角小于等于45°。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述顶电极的至少一个外侧壁与所述衬底的法线之间的夹角小于等于5°。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述将顶电极浆料注入所述压电层上方的容纳空间，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其中，在形成所述压电层之后，所述方法还包括：在所述衬底上方形成围挡结构，以通过所述围挡结构围成所述容纳空间。
6.根据权利要求5所述的方法，其中...
【技术特征摘要】
1.一种超声波换能器的制备方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述顶电极的至少一个外侧壁与所述衬底的法线之间的夹角小于等于45°。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述顶电极的至少一个外侧壁与所述衬底的法线之间的夹角小于等于5°。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述将顶电极浆料注入所述压电层上方的容纳空间，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其中，在形成所述压电层之后，所述方法还包括：在所述衬底上方形成围挡结构，以通过所述围挡结构围成所述容纳空间。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述在所述衬底上方形成围挡结构，包括：在所述衬底上方设置光刻胶，并使所述光刻胶图形化和固化，以形成所述围挡结构，其中，所述光刻胶固化的固化温度控制在135℃以下；
7.根据权利要求5所述的方法，其中，所述围挡结构至少部分覆盖所述压电层的外侧壁，和/或，所述围挡结构至少部分位于所述压电层的上表面。
8.根据权利要求5所述的方法，其中，将至少部分所述围挡结构保留于得到的所述超声波换能器，并且，所述围挡结构为非导电材料。
9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述获得形成有底电极和压电层的衬底，包括：在所述衬底上方形成围挡结构，以通过所述围挡结构围成所述容纳空间；
10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述在所述衬底上方形成围挡结构，包括：在所述衬底上方设置光刻胶，并使所述光刻胶图形化和固化，以形成所述围挡结构；
【专利技术属性】
技术研发人员：高攀，韦亚，
申请(专利权)人：深圳市汇顶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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