【技术实现步骤摘要】
本申请涉及压力传感器，尤其涉及一种压力传感器和检测装置。
技术介绍
1、医疗植入式压力检测或汽车胎压检测等封闭环境下的压力检测，通常采用基于感容谐振电路的压力传感器。相关技术中的此种压力传感器要么体积较大，要么准确性较差。
技术实现思路
1、本申请的实施例提供一种压力传感器和检测装置，体积小且准确性高。
2、为达到上述目的，本申请的实施例采用如下技术方案：
3、一方面，提供了一种压力传感器，包括：
4、第一基板；
5、第二基板，包括与所述第一基板相对且间隔设置的感压膜，所述感压膜和所述第一基板之间设有密闭的压力参考腔，所述感压膜被配置为朝向或背离所述第一基板发生形变；
6、电容，包括相对设置的第一极板和第二极板，所述第一极板设置在所述第一基板，所述第二极板设置在所述感压膜；
7、检测电感，包括依次连接的多个线圈结构，所述线圈结构包括第一走线、第二走线以及导电柱，所述第一走线设置在所述第一基板朝向所述第二基板一侧，所述第...
【技术保护点】
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述电容包括第一电容和第二电容，所述第一极板包括断开设置的第一子极板和第二子极板，所述第一子极板和所述第二极板形成所述第一电容，所述第二子极板和所述第二极板形成所述第二电容；
3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，还包括第一导电层，所述第一导电层位于所述第一走线远离所述第一基板的一侧，所述第一子极板和所述第二子极板位于所述第一导电层。
4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述第一子极板与所述第二极板的正对面积为第一面积，所述...
【技术特征摘要】
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述电容包括第一电容和第二电容，所述第一极板包括断开设置的第一子极板和第二子极板，所述第一子极板和所述第二极板形成所述第一电容，所述第二子极板和所述第二极板形成所述第二电容；
3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，还包括第一导电层，所述第一导电层位于所述第一走线远离所述第一基板的一侧，所述第一子极板和所述第二子极板位于所述第一导电层。
4.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述第一子极板与所述第二极板的正对面积为第一面积，所述第二子极板与所述第二极板的正对面积为第二面积，所述第一面积等于所述第二面积。
5.根据权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器还包括第二导电层和第一绝缘层，所述第一走线位于所述第二导电层，所述第一绝缘层位于所述第一导电层和所述第二导电层之间。
6.根据权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，所述检测电感的第一端为所述第一走线，所述第一走线通过过孔与所述第一子极板电连接。
7.根据权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，所述检测电感的第二端为导电柱，所述导电柱通过过孔与所述第一子极板电连接。
8.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述第二极板包括断开设置的第三子极板和第四子极板，所述第三子极板与...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏秋旭，李月，王立会，郭伟龙，常文博，张韬楠，孙杰，何娜娜，曲峰，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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