一种高精度机台锁紧装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种高精度机台锁紧装置，其包括第一连接板和第二连接板，第一连接板和第二连接板均包括彼此连接的连接段和固定段，连接段上设置有锥形孔，第一连接板的连接段上设置有定位螺纹孔；定位件，用于穿过所述定位螺纹孔以顶住第二连接板实现定位；锁紧组件，包括锁紧双头螺杆、锁紧螺母、锥形套，锥形套为两端开口设计并用于放置于锥形孔中，锁紧双头螺杆穿过锥形套和锥形孔与锁紧螺母相互配合实现锁紧。本发明专利技术通过定位件、锥形孔和锥形套的设置使得其兼容待锁紧结构件之间因调试或者长期工作而形成的夹角和位移，从而具有良好的通用性和适应性，能够广泛应用于不同类型的机台设备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种锁紧装置，尤其是涉及一种高精度机台锁紧装置。

技术介绍

1、在机台生产加工领域，机台安装的精密性和稳定性是机台生产加工的关键性指标。然而，现有的锁紧装置在机台的定位工装和锁紧结构件方面存在着一些局限性，主要包括以下几个方面：

2、第一，现有的锁紧装置设计难以实现对半导体设备零部件的精准定位，导致在设备组装过程中出现位置偏差。同时，设备安装调试完成后，不同设备之间的相对位置会存在尺寸偏差，传统锁紧装置强制锁紧，会迫使已经调试完成的设备产生位置的偏移，严重影响了半导体设备的性能指标和工作稳定性，致使成品的次品率升高。

3、第二，现有的锁紧装置支撑力度不够致使锁紧不牢固，容易使零部件在设备运行过程中出现松动、移位等情况，进而影响设备的正常工作，甚至导致设备损坏或故障。

4、第三，现有的锁紧装置在面对不同规格、型号的半导体设备时，缺乏足够的通用性和灵活性，往往需要针对特定设备进行专门的设计和改造，增加了成本和时间投入。

5、因此，有必要改进锁紧装置。

技术实现思路本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高精度机台锁紧装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述定位件(7)为定位螺栓。

3.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述定位件(7)与所述第二连接板(12)接触的一端设置有垫片。

4.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述定位螺纹孔(5)至少为3个，所述定位件(7)至少为3个。

5.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述锥形套(83)具有回弹力。

6.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述锥形套(83)为非刚性材料。

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【技术特征摘要】

1.一种高精度机台锁紧装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述定位件(7)为定位螺栓。

3.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述定位件(7)与所述第二连接板(12)接触的一端设置有垫片。

4.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述定位螺纹孔(5)至少为3个，所述定位件(7)至少为3个。

5.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述锥形套(83)具有回弹力。

6.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述锥形套(83)为非刚性材料。

7.根据权利要求1所述的机台锁紧装置，其特征在于，所述锥形孔(4)的孔壁和中轴线具有夹角γ，所述锥形...

【专利技术属性】
技术研发人员：史庆飞，许志彬，兰海燕，李士昌，
申请(专利权)人：盛吉盛精密装备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：