【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于集成电路装备制造，特别是涉及一种驱动装置及运动装置。
技术介绍
1、随着半导体技术的发展和工艺技术的进步，半导体器件的尺寸不断缩小，晶圆上致命缺陷的尺寸也变得越来越小，导致缺陷的检测变得更加困难。电子束检测设备克服了光学波长的限制，且由于其优异的分辨率和检测精度，成为下一代制程(7纳米/5纳米)的缺陷检测不可或缺的手段。
2、然而在电子束检测装备中，电子束对磁场非常敏感，所以需要对电子束检测装备的运动装置中的驱动电机进行磁屏蔽，以降低驱动电机的漏磁对电子束的干扰，保证电子束检测的精度。
3、而现有技术中对直线电机增加磁屏蔽板进行磁屏蔽的结构设计中，漏磁量最小也只能达到约100nt左右，无法达到nt级的漏磁要求；而其他可以实现更低漏磁量的直线电机基本都需要采用特殊定制的磁钢组件，往往结构复杂，需要定制化生产，导致成本较高。
4、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的，不能仅仅因为这些方案在本申请的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
1、鉴于以上现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种驱动装置及运动装置，用于解决现有技术中电子束检测装置的驱动电机降低漏磁量的结构复杂、生产成本高的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供一种驱动装置，驱动装置包括：驱动电机、背铁结构和磁屏蔽结构；
3、驱动
4、背铁结构与电机定子的外表面固定连接，背铁结构包括第一背铁、第二背铁和第三背铁；第一背铁至少覆盖第一部沿xoz面和xoy面分布的外表面，第二背铁至少覆盖第二部沿xoz面和xoy面分布的外表面，两块第三背铁分别连接电机定子沿x方向的两端，且均覆盖电机定子在yoz面上的投影；
5、磁屏蔽结构覆盖背铁结构的外表面，且与背铁结构之间至少沿x方向和z方向存在预设距离；磁屏蔽结构覆盖电机定子显露出的外表面，且与电机定子及电机动子之间均存在预设距离。
6、可选地，磁屏蔽结构包括：
7、第一磁屏蔽层，第一磁屏蔽层覆盖第一背铁沿xoz面及xoy面分布的外表面，且覆盖连接部沿xoz面分布的至少部分外表面；
8、第二磁屏蔽层，第二磁屏蔽层覆盖第二背铁沿xoz面及xoy面分布的外表面，且覆盖连接部沿xoz面分布的至少部分外表面；第一磁屏蔽层与第二磁屏蔽层共同完全覆盖连接部沿xoz面分布的外表面；
9、两块第三磁屏蔽层，每块第三磁屏蔽层各自覆盖于一块第三背铁沿yoz面分布的外表面。
10、可选地，第一磁屏蔽层和第二磁屏蔽层为一体成型结构。
11、可选地，n个驱动电机沿x方向排列，n为大于等于2的整数；
12、第一背铁为沿x方向排列的由a段分体结构固定连接得到的结构，第二背铁为沿x方向排列的由b段分体结构固定连接得到的结构；
13、和/或，第一磁屏蔽层为沿x方向排列的由c段分体结构固定连接得到的结构，第二磁屏蔽层为沿x方向排列的由d段分体结构固定连接得到的结构；
14、a、b、c、d均为正整数。
15、可选地，第一磁屏蔽层与第一背铁之间通过第一连接件固定连接，第一连接件的材料为不导磁材料；和/或第二磁屏蔽层与第二背铁之间通过第二连接件固定连接，第二连接件的材料为不导磁材料；和/或第三磁屏蔽层与第三背铁之间通过第三连接件固定连接，第三连接件的材料为不导磁材料。
16、可选地，电机定子包括磁钢和磁钢载体，背铁结构的导磁率大于等于电机定子中磁钢载体的导磁率。
17、可选地，第一部包括第一磁钢载体和第一磁钢，第一背铁至少沿z方向的厚度为第一磁钢载体沿z方向的厚度的0.5-2倍；第二部包括第二磁钢载体和第二磁钢，第二背铁至少沿z方向的厚度为第二磁钢载体沿z方向的厚度的0.5-2倍；第三背铁沿x方向的厚度为第一磁钢载体或第二磁钢载体沿z方向的厚度的0.5-2倍。
18、可选地，第一磁钢载体包括第一主体部和第一回折部，第一主体部覆盖第一磁钢沿xoy面分布且远离第二部的外表面，第一回折部覆盖第一磁钢沿xoz面分布且靠近电机动子的外表面；第二磁钢载体包括第二主体部和第二回折部，第二主体部覆盖第二磁钢沿xoy面分布且远离第一部的外表面，第二回折部覆盖第二磁钢沿xoz面分布且靠近电机动子的外表面。
19、可选地，驱动装置包括相互对称设置的两组驱动电机、背铁结构和磁屏蔽结构，两组驱动电机均用于驱动对应的电机动子沿x方向运动，两组驱动电机的连接部之间的距离小于两组驱动结构的电机动子之间的距离。
20、本专利技术还提供一种运动装置，运动装置包括两组以上驱动结构，各组驱动结构之间的驱动方向各不相同，各组驱动结构中的任意一组或一组以上的任意组合包括上述任意一种的驱动装置。
21、如上，本专利技术的驱动装置及运动装置，具有以下有益效果：
22、本专利技术通过在电机定子外设置背铁结构降低漏磁，可直接在原有电机定子结构上改装，简单方便成本低，有利于产业实际推广使用；
23、本专利技术配合背铁结构外包裹磁屏蔽结构，减少漏磁量至nt级；
24、本专利技术通过背铁结构作为磁屏蔽结构和电机定子之间的连接件，提高磁屏蔽结构安装可靠性；
25、本专利技术通过两组驱动电机连接部相背设置，隔离电机动子附近的两个磁场之间相互作用，避免产生更强的漏磁量，进一步提高磁屏蔽效果。
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1.一种驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括：驱动电机、背铁结构和磁屏蔽结构；所述驱动电机包括电机定子(110)和电机动子(120)，所述电机动子(120)可相对所述电机定子(110)沿X方向运动；所述电机定子(110)包括沿X方向延伸的第一部(112)、第二部(113)以及连接部(111)，所述第一部(112)和所述第二部(113)沿Z方向间隔对称设置，所述连接部(111)沿Z方向延伸的两端分别连接所述第一部(112)和所述第二部(113)沿Y方向同侧的一端；所述电机动子(120)垂直于X方向的截面呈“U”形，所述电机动子(120)至少部分设置在所述第一部(112)、第二部(113)之间；
2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述磁屏蔽结构包括：
3.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述第一磁屏蔽层(310)和所述第二磁屏蔽层(320)为一体成型结构。
4.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，n个所述驱动电机沿X方向排列，n为大于等于2的整数；
5.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述第一磁屏
6.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述电机定子(110)包括磁钢和磁钢载体，所述背铁结构的导磁率大于等于所述电机定子(110)中所述磁钢载体的导磁率。
7.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述第一部(112)包括第一磁钢载体(1121)和第一磁钢(1122)，所述第一背铁(210)至少沿Z方向的厚度为所述第一磁钢载体(1121)沿Z方向的厚度的0.5-2倍；所述第二部(113)包括第二磁钢载体(1131)和第二磁钢(1132)，所述第二背铁(220)至少沿Z方向的厚度为所述第二磁钢载体(1131)沿Z方向的厚度的0.5-2倍；所述第三背铁(230)沿X方向的厚度为所述第一磁钢载体(1121)或所述第二磁钢载体(1131)沿Z方向的厚度的0.5-2倍。
8.根据权利要求7所述的驱动装置，其特征在于，所述第一磁钢载体(1121)包括第一主体部(1121a)和第一回折部(1121b)，所述第一主体部(1121a)覆盖所述第一磁钢(1122)沿XOY面分布且远离所述第二部(113)的外表面，所述第一回折部(1121b)覆盖所述第一磁钢(1122)沿XOZ面分布且靠近所述电机动子(120)的外表面；所述第二磁钢载体(1131)包括第二主体部(1131a)和第二回折部(1131b)，所述第二主体部(1131a)覆盖所述第二磁钢(1132)沿XOY面分布且远离所述第一部(112)的外表面，所述第二回折部(1131b)覆盖所述第二磁钢(1132)沿XOZ面分布且靠近所述电机动子(120)的外表面。
9.根据权利要求1-8中任意一项所述的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括相互对称设置的两组所述驱动电机、所述背铁结构和所述磁屏蔽结构，两组所述驱动电机均用于驱动对应的所述电机动子(120)沿X方向运动，两组所述驱动电机的所述连接部(111)之间的距离小于两组所述驱动结构的所述电机动子(120)之间的距离。
10.一种运动装置，其特征在于，所述运动装置包括两组以上驱动结构，各组所述驱动结构之间的驱动方向各不相同，各组所述驱动结构中的任意一组或一组以上的任意组合包括权利要求1-9中任意一项所述的驱动装置。
...【技术特征摘要】
1.一种驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括：驱动电机、背铁结构和磁屏蔽结构；所述驱动电机包括电机定子(110)和电机动子(120)，所述电机动子(120)可相对所述电机定子(110)沿x方向运动；所述电机定子(110)包括沿x方向延伸的第一部(112)、第二部(113)以及连接部(111)，所述第一部(112)和所述第二部(113)沿z方向间隔对称设置，所述连接部(111)沿z方向延伸的两端分别连接所述第一部(112)和所述第二部(113)沿y方向同侧的一端；所述电机动子(120)垂直于x方向的截面呈“u”形，所述电机动子(120)至少部分设置在所述第一部(112)、第二部(113)之间；
2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述磁屏蔽结构包括：
3.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述第一磁屏蔽层(310)和所述第二磁屏蔽层(320)为一体成型结构。
4.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，n个所述驱动电机沿x方向排列，n为大于等于2的整数；
5.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述第一磁屏蔽层(310)与所述第一背铁(210)之间通过第一连接件(211)固定连接，所述第一连接件(211)的材料为不导磁材料；和/或所述第二磁屏蔽层(320)与所述第二背铁(220)之间通过第二连接件(221)固定连接，所述第二连接件(221)的材料为不导磁材料；和/或所述第三磁屏蔽层(330)与所述第三背铁(230)之间通过第三连接件(231)固定连接，所述第三连接件(231)的材料为不导磁材料。
6.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述电机定子(110)包括磁钢和磁钢载体，所述背铁结构的导磁率大于等于所述电机定子(110)中所述磁钢载体的导磁率。
7.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述第一部(112...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈啸虎，江旭初，彭仁强，吴火亮，
申请(专利权)人：苏州隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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