一种驱动装置及运动装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种驱动装置及运动装置，驱动装置包括：包括沿X向延伸的第一部、第二部的电机定子的驱动电机、背铁结构和磁屏蔽结构；背铁结构至少覆盖第一部沿XOZ和XOY、第二部沿XOZ和XOY的外表面、电机定子沿X向两端在YOZ的投影；磁屏蔽结构覆盖背铁结构和电机定子显露的外表面。本发明专利技术在电机定子外设置背铁结构降低漏磁，可直接在原有电机定子结构上改装，简单方便成本低，有利于产业实际推广使用；同时配合背铁结构外包裹磁屏蔽结构，减少漏磁量至nT级；另外背铁结构连接磁屏蔽结构和电机定子，提高磁屏蔽结构安装可靠性；最后两组驱动电机连接部相背设置，隔离电机动子附近的两个磁场之间相互作用，避免产生更强的漏磁量，进一步提高磁屏蔽效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于集成电路装备制造，特别是涉及一种驱动装置及运动装置。

技术介绍

1、随着半导体技术的发展和工艺技术的进步，半导体器件的尺寸不断缩小，晶圆上致命缺陷的尺寸也变得越来越小，导致缺陷的检测变得更加困难。电子束检测设备克服了光学波长的限制，且由于其优异的分辨率和检测精度，成为下一代制程(7纳米/5纳米)的缺陷检测不可或缺的手段。

2、然而在电子束检测装备中，电子束对磁场非常敏感，所以需要对电子束检测装备的运动装置中的驱动电机进行磁屏蔽，以降低驱动电机的漏磁对电子束的干扰，保证电子束检测的精度。

3、而现有技术中对直线电机增加磁屏蔽板进行磁屏蔽的结构设计中，漏磁量最小也只能达到约100nt左右，无法达到nt级的漏磁要求；而其他可以实现更低漏磁量的直线电机基本都需要采用特殊定制的磁钢组件，往往结构复杂，需要定制化生产，导致成本较高。

4、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的，不能仅仅因为这些方案在本申请的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括：驱动电机、背铁结构和磁屏蔽结构；所述驱动电机包括电机定子(110)和电机动子(120)，所述电机动子(120)可相对所述电机定子(110)沿X方向运动；所述电机定子(110)包括沿X方向延伸的第一部(112)、第二部(113)以及连接部(111)，所述第一部(112)和所述第二部(113)沿Z方向间隔对称设置，所述连接部(111)沿Z方向延伸的两端分别连接所述第一部(112)和所述第二部(113)沿Y方向同侧的一端；所述电机动子(120)垂直于X方向的截面呈“U”形，所述电机动子(120)至少部分设置在所述第一部(112)、第二部(113)...

【技术特征摘要】

1.一种驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括：驱动电机、背铁结构和磁屏蔽结构；所述驱动电机包括电机定子(110)和电机动子(120)，所述电机动子(120)可相对所述电机定子(110)沿x方向运动；所述电机定子(110)包括沿x方向延伸的第一部(112)、第二部(113)以及连接部(111)，所述第一部(112)和所述第二部(113)沿z方向间隔对称设置，所述连接部(111)沿z方向延伸的两端分别连接所述第一部(112)和所述第二部(113)沿y方向同侧的一端；所述电机动子(120)垂直于x方向的截面呈“u”形，所述电机动子(120)至少部分设置在所述第一部(112)、第二部(113)之间；

2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述磁屏蔽结构包括：

3.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述第一磁屏蔽层(310)和所述第二磁屏蔽层(320)为一体成型结构。

4.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，n个所述驱动电机沿x方向排列，n为大于等于2的整数；

5.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述第一磁屏蔽层(310)与所述第一背铁(210)之间通过第一连接件(211)固定连接，所述第一连接件(211)的材料为不导磁材料；和/或所述第二磁屏蔽层(320)与所述第二背铁(220)之间通过第二连接件(221)固定连接，所述第二连接件(221)的材料为不导磁材料；和/或所述第三磁屏蔽层(330)与所述第三背铁(230)之间通过第三连接件(231)固定连接，所述第三连接件(231)的材料为不导磁材料。

6.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述电机定子(110)包括磁钢和磁钢载体，所述背铁结构的导磁率大于等于所述电机定子(110)中所述磁钢载体的导磁率。

7.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述第一部(112...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈啸虎，江旭初，彭仁强，吴火亮，
申请(专利权)人：苏州隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：