【技术实现步骤摘要】
本技术属于电连接结构，尤其涉及一种加热单元电连接结构及单晶炉台。
技术介绍
1、现有单晶炉台配置两组铜电极可以装配两个石墨材料或是碳碳材料加热器，为了进一步降低单晶炉台氧含量的同时提高单晶晶棒品质，设计开发出配置三组加热单元结构的技术，即配置三组铜电极以装配三个石墨材料或是碳碳材料加热器，使得单晶晶棒氧含量较两组加热单元的工艺明显下降。
2、目前设计的三组加热单元结构包括两组侧加热器和一组底加热器，其中两组侧加热器中的一组侧加热器需要避开另一组侧加热器，导致加热器需要多设计两个脚板，这样对于炉台整体而言，坩埚侧面发热单元增加会提高单晶晶棒拉制过程中坩埚侧壁的温度，增加坩埚侧壁熔硅和石英坩埚的对流，不利于晶棒氧含量进一步下降。
技术实现思路
1、本技术提供一种加热单元电连接结构，旨在解决现有单晶炉台的两组侧加热器需要多设计两个脚板导致坩埚侧面温度升高，不利于晶棒氧含量进一步下降的问题。
2、本技术是这样实现的，一种加热单元电连接结构，包括第一侧加热单元和第二侧加热单元...
【技术保护点】
1.一种加热单元电连接结构，其特征在于，包括第一侧加热单元和第二侧加热单元；
2.如权利要求1所述的加热单元电连接结构，其特征在于，所述复合电极包括：
3.如权利要求2所述的加热单元电连接结构，其特征在于，所述外导件的第一端用于与所述第一脚板连接，所述内导件的第一端用于与所述第二脚板连接，所述外导件的第二端从所述内导件的第二端内伸出，以使所述外导件的第二端和所述内导件的第二端成台阶状。
4.如权利要求2所述的加热单元电连接结构，其特征在于，所述第一脚板包括沿第一方向延伸的第一竖板和第二竖板；
5.如权利要求4中所述的加热...
【技术特征摘要】
1.一种加热单元电连接结构，其特征在于，包括第一侧加热单元和第二侧加热单元；
2.如权利要求1所述的加热单元电连接结构，其特征在于，所述复合电极包括：
3.如权利要求2所述的加热单元电连接结构，其特征在于，所述外导件的第一端用于与所述第一脚板连接，所述内导件的第一端用于与所述第二脚板连接，所述外导件的第二端从所述内导件的第二端内伸出，以使所述外导件的第二端和所述内导件的第二端成台阶状。
4.如权利要求2所述的加热单元电连接结构，其特征在于，所述第一脚板包括沿第一方向延伸的第一竖板和第二竖板；
5.如权利要求4中所述的加热单元电连接结构，其特征在于，所述第二脚板的第一端与所述第二侧发热板连接，所述第二脚板的第二端沿所述第二方...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘军明，陈刚，
申请(专利权)人：珠海富山爱旭太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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