【技术实现步骤摘要】
本技术涉及检测设备密封,具体为一种检测设备用密封装置以及真空烧结炉用传感器。
技术介绍
1、本章节中的说明只提供涉及本公开的背景信息而不构成现有技术。
2、随着国内光伏、半导体等产业的快速发展,对真空烧结炉的真空度要求越来越高,国内的传感器(如热电偶、热电阻等)由于密封性的问题以及测量精度的问题已经不能满足目前高要求的真空烧结炉,设备厂家只能去国外购传感器来使用,这样不仅增加了成本,而且增加了购买周期。
3、目前,在超高真空烧结炉上所用的很多传感器(如热电偶、热电阻等),在使用时,当传感器的保护管发生破损,由于超高真空炉内外压差非常大(即负压非常大,且随着真空度越高,其负压值也会不断的增大),一般的密封很容易被击穿,从而造成真空炉真空度失效,进而导致真空炉炉膛内发热体与产品损坏或报废;而且部分厂家的密封设计比较繁琐,不仅安装麻烦且达不到真空烧结炉对真空度的要求。
技术实现思路
1、技术为了解决上述问题,提供一种检测设备用密封装置,通过对密封件、第一连接件、第二连接件
...【技术保护点】
1.一种检测设备用密封装置,其特征在于:包括
2.如权利要求1所述的一种检测设备用密封装置,其特征在于,所述密封件(20)包括本体(21)、第一端密封(22)和第二端密封(23),所述第一端密封(22)和第二端密封(23)连接在本体(21)的两端,且本体(21)为圆柱体,第一端密封(22)和第二端密封(23)为锥形体,所述密封件(20)轴线方向设置第一通孔(26),所述第一通孔(26)轴向穿过第一端密封(22)、本体(21)和第二端密封(23)将第一连接件(10)和第三连接件(40)连通;所述第一端密封(22)的锥形面与密封端(11)密封连接,所述第二端密
...【技术特征摘要】
1.一种检测设备用密封装置,其特征在于:包括
2.如权利要求1所述的一种检测设备用密封装置,其特征在于,所述密封件(20)包括本体(21)、第一端密封(22)和第二端密封(23),所述第一端密封(22)和第二端密封(23)连接在本体(21)的两端,且本体(21)为圆柱体,第一端密封(22)和第二端密封(23)为锥形体,所述密封件(20)轴线方向设置第一通孔(26),所述第一通孔(26)轴向穿过第一端密封(22)、本体(21)和第二端密封(23)将第一连接件(10)和第三连接件(40)连通;所述第一端密封(22)的锥形面与密封端(11)密封连接,所述第二端密封(23)与第三连接件(40)密封连接,所述本体(21)的外侧面与第二密封腔(61)的内侧壁面接触连接。
3.如权利要求2所述的一种检测设备用密封装置,其特征在于,所述密封端(11)设置与第一端密封(22)匹配的第一锥形口(13)。
4.如权利要求3所述的一种检测设备用密封装置,其特征在于,所述第三连接件(40)的端部设置与第二端密封(23)匹配的第二锥形口(41)。
5.如权利要求4所述的一种检测设备用密封装置,其特征在于,所述第一端密封(22...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚文,
申请(专利权)人:常州安泰克自动化仪表有限公司,
类型:新型
国别省市:
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