【技术实现步骤摘要】
本技术涉及曝光机,尤其涉及一种手动曝光机工作台。
技术介绍
1、曝光机是半导体产业中最关键设备,集成电路里的晶体管是通过光刻工艺在晶圆上做出来的,主要通过曝光显影技术将光透过掩膜版,通过曝光显影技术将光掩模上的图案以一定的比例转移到半导体硅片表面的光致抗蚀剂层上,在日常生活中较为常见,在日常生活中较为常见。
2、在投入使用的过程中发现,在对曝光机进行长时间操作使用的过程中,需要对曝光机进行更换检修,由于通常的曝光机与整个操作台之间是安装一体式的,从而在对曝光机进行拆卸的过程中,较为繁琐复杂,不方便对曝光机进行快速安装的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的是解决现有技术中存在对曝光机进行长时间操作使用的过程中,需要对曝光机进行更换检修,由于通常的曝光机与整个操作台之间是安装一体式的,从而在对曝光机进行拆卸的过程中,较为繁琐复杂,不方便对曝光机进行快速安装缺点。
2、为解决上述技术问题,本技术提供一种手动曝光机工作台,包括:操作台,所述操作台的上端表面安装有曝光机主体
...【技术保护点】
1.一种手动曝光机工作台,其特征在于,包括:操作台(2),所述操作台(2)的上端表面安装有曝光机主体(1),所述曝光机主体(1)的底端两侧均固定连接有安装板(3),所述操作台(2)表面对应安装板(3)的位置均设有调节装置(4),所述调节装置(4)包括两个定位架(46),两个所述定位架(46)的底端均与操作台(2)的表面固定连接,所述定位架(46)的上端均固定连接有定位块(49),所述安装板(3)表面对应定位块(49)的位置均开设有固定孔(45),所述固定孔(45)的内壁与定位块(49)的表面滑动插接,所述定位架(46)的表面固定连接有若干个支撑板(48),若干个所述支
...【技术特征摘要】
1.一种手动曝光机工作台,其特征在于,包括:操作台(2),所述操作台(2)的上端表面安装有曝光机主体(1),所述曝光机主体(1)的底端两侧均固定连接有安装板(3),所述操作台(2)表面对应安装板(3)的位置均设有调节装置(4),所述调节装置(4)包括两个定位架(46),两个所述定位架(46)的底端均与操作台(2)的表面固定连接,所述定位架(46)的上端均固定连接有定位块(49),所述安装板(3)表面对应定位块(49)的位置均开设有固定孔(45),所述固定孔(45)的内壁与定位块(49)的表面滑动插接,所述定位架(46)的表面固定连接有若干个支撑板(48),若干个所述支撑板(48)的表面均与安装板(3)的底面相抵接,所述操作台(2)表面对应安装板(3)的位置固定连接有固定架(41),所述固定架(41)的内壁转动连接有转动板(42),所述转动板(42)的截面呈“l”形,所述定位块(49)的表面螺纹连接有固定杆(44),所述固定杆(44)的一端与转动板(42)的表面螺纹贯穿。
2.根据权利要求1所述的一种手动曝光机工作台,其特征在于,所述定位架(46)的表面固定连接有防护垫(47),所述防护垫(47)的底面与支撑板(48)的表面相抵接。
3.根据权利要求1所述的一种手动曝光机工作台,其特征在于,所述固定架(4...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢红,谢丁生,吕学飞,王韶华,晏建发,赵振浩,谢和,
申请(专利权)人:上海亚曼光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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