一种活性炭吸附塔杂质反吹装置制造方法及图纸

本技术公开了一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，涉及多晶硅生产设备技术领域，主要目的是提供一种在反吹过程中保证吸附塔内的温度的一种活性炭吸附塔杂质反吹装置。本技术的主要技术方案为：一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，包括：还原炉，尾气降温部件，换热器管程的一端连接于还原炉的顶部，另一端连接于冷凝吸收部件；吸附部件，进气管道的一端连接于冷凝吸收部件，另一端连接于吸附塔的底部，排气管道的一端连接于吸附塔的顶部，另一端连接于换热器壳程，供气管道的两端连接于还原炉和换热器的壳程，低温氢气管道连接于排气管道，换热氢气管道连接于供气管道和排气管道靠近吸附塔的一端侧面。本技术主要用于尾气处理。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产设备，尤其涉及一种活性炭吸附塔杂质反吹装置。

技术介绍

1、在多晶硅生产中,能够使多晶硅生产尾气得以循环利用的一个重要的工序就是干法尾气回收系统。尾气回收过程可以循环回收利用氢气,并且可以分离出尾气中的氯硅烷和氯化氢。尾气主要成分是大量氢气,其中含有少量的氯硅烷及氯化氢,其工艺过程主要是通过冷凝、压缩、吸收、解吸和吸附工艺流程实现分离并分别返回装置利用。由吸收塔顶部出来的氢气(含少量氯化氢和氯硅烷)通过活性炭吸附塔二次纯化除去氢气中的杂质送至下游车间使用。而经过吸附塔吸附后的杂质经过新鲜氢反吹并送至下游工序。

2、但是，吸附饱和后的吸附塔需使用自身氢或外管新鲜氢进行吹扫，吸附塔反吹过程中的低温氢气进入处于再生净化塔内则会带走热量，延缓再生净化塔内温度上涨速度，同时热量带走，需要多消耗一部分蒸汽，补偿损失的热量，从而增加了生产成本。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术实施例提供一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，主要目的是提供一种在反吹过程中保证吸附塔内的温度的一种活性炭吸附塔杂质反吹本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所述的一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在于，

6.根据权利要求1至5任一项所述的一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求3至5任一项所述的一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在于，还包括：

【技术特征摘要】

1.一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的一种活性炭吸附塔杂质反吹装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏岑，袁成平，师文，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：