【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种定向工具，用于使用电子背向散射衍射(ebsd)技术分析样品以确定材料的微观结构。微观结构是在微观尺度上研究的材料的内部结构，并且由于材料的内部结构影响其性能和行为而引起人们的兴趣。ebsd技术使用扫描电子显微镜(sem)将电子引导至倾斜的晶体材料制成的样品，其中，原子排列成周期性重复。来自晶体材料的电子发生背向散射并撞击ebsd检测器的荧光屏而产生由ebsd检测器的相机检测到的光。由于一些散射电子以满足布拉格衍射条件的方式撞击晶体材料中的原子的平面，因此可以形成每个晶格平面的成对曲线。通过分析检测到的衍射图案的对称性和外观可以确定样品的微观结构。ebsd分析的结果可以包括晶粒群体、材料中的不同相或化合物、元素的空间分布、晶粒之间和晶粒内的界面的特性、纹理等的识别和/或表征。
技术介绍
1、ebsd评估的当前设置包括倾斜机制，其中，将晶体样品附接到sem的固定装置，然后将评估表面倾斜至与水平面成约70度的角度。此过程会增加损坏sem中其他部件(诸如电子束柱、ebsd检测器)的风险，或eds(能量色散x射线光谱)部件，存在维修...
【技术保护点】
1.一种用于评估在扫描电子显微镜(SEM)内的样品的系统，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述定位套环包括形成在所述定位套环的上表面的狭槽。
3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述定向工具包括从所述主体延伸出的定位凸缘，所述定位凸缘设置在所述定位套环的狭槽内，以相对于所述定位套环来定向所述定向工具。
4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述壁和所述后表面是平面的。
5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述支撑表面和所述侧表面的形状互补。
6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述倾斜平面相...
【技术特征摘要】
1.一种用于评估在扫描电子显微镜(sem)内的样品的系统，所述系统包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述定位套环包括形成在所述定位套环的上表面的狭槽。
3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述定向工具包括从所述主体延伸出的定位凸缘，所述定位凸缘设置在所述定位套环的狭槽内，以相对于所述定位套环来定向所述定向工具。
4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述壁和所述后表面是平面的。
5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述支撑表面和所述侧表面的形状互补。
6.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：C·埃奇，M·R·加兰特，W·吴，
申请(专利权)人：通用汽车环球科技运作有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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