【技术实现步骤摘要】
本技术涉及固化清洗装置,尤其涉及一种注射用微球固化清洗装置。
技术介绍
1、微弹球是一种微小的多孔材料,常用于固化清洗中,而对于微球进行固化清洗时,就需要用到微球固化清洗装置来对其进行处理,而微球固化清洗装置能够应用于半导体制造、光刻工艺、医疗器械清洗等领域,功能非常的全面。
2、目前现有技术中的一种注射用微球固化清洗装置,通常采用低温水浴固化,残留溶剂去除速率低,于10-20c保温10h,设置反应釜夹层温度20-30c,反应釜升温至20°c,继续保温20h,效率十分的低下,另外现有技术中的一种注射用微球固化清洗装置通常采用酸洗溶液进行洗球,需配置酸洗溶液操作复杂,成本高。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中通常采用低温水浴固化,残留溶剂去除速率低和通常采用酸洗溶液进行洗球,需配置酸洗溶液操作复杂,成本高的问题,而提出的一种注射用微球固化清洗装置。
2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种注射用微球固化清洗装置,包括反应釜主体,所述反应釜
...【技术保护点】
1.一种注射用微球固化清洗装置,包括反应釜主体(1),其特征在于:所述反应釜主体(1)内固定有内胆(25),所述反应釜主体(1)的顶端安装有顶盖(6),所述顶盖(6)的顶端固定有进料管(10),所述反应釜主体(1)内设有用于对注射用水搅拌的搅拌结构(12),所述顶盖(6)的上方设有真空泵(14),所述真空泵(14)的输出端固定有连通管(15),所述连通管(15)的底端与顶盖(6)相固定,所述反应釜主体(1)的一侧设有加热循环泵(17),所述加热循环泵(17)的一端固定有进水管(18),所述加热循环泵(17)的另一端固定有出水管(21),所述出水管(21)与反应釜主体(
...【技术特征摘要】
1.一种注射用微球固化清洗装置,包括反应釜主体(1),其特征在于:所述反应釜主体(1)内固定有内胆(25),所述反应釜主体(1)的顶端安装有顶盖(6),所述顶盖(6)的顶端固定有进料管(10),所述反应釜主体(1)内设有用于对注射用水搅拌的搅拌结构(12),所述顶盖(6)的上方设有真空泵(14),所述真空泵(14)的输出端固定有连通管(15),所述连通管(15)的底端与顶盖(6)相固定,所述反应釜主体(1)的一侧设有加热循环泵(17),所述加热循环泵(17)的一端固定有进水管(18),所述加热循环泵(17)的另一端固定有出水管(21),所述出水管(21)与反应釜主体(1)相固定,所述出水管(21)的外壁上固定有循环管(22),所述循环管(22)远离出水管(21)的一端与反应釜主体(1)相固定,所述循环管(22)的外壁上安装有第二控制阀(24),所述反应釜主体(1)的底端固定有出料管(4),所述出料管(4)的外壁上安装有第一控制阀(5)。
2.根据权利要求1所述的一种注射用微球固化清洗装置,其特征在于:所述搅拌结构(12)包括设于顶盖(6)上的电机(1201),所述电机(1201)的输出端贯穿顶盖(6)的内顶壁并固定有搅拌轴(1202),所述搅拌轴(1202)的外壁两端均固定有多个搅拌叶(1203),两组所述搅拌叶(1203)面向反应釜主体(1)内壁的一端共同固定有刮板(1204),且刮板(1204)与反应釜主体(1)的内壁滑动连接。
3.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙建会,王乐会,李丹,
申请(专利权)人:上海圣嘉科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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