【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体减压，尤其涉及一种改善氨气减压器稳定性的方法。
技术介绍
1、在半导体材料和器件的生产过程中，通常需要大量使用氨气，而氨气在使用前往往需要减压。在氨气气路中，因为有可能存在气液相变，不排除气氨中夹杂一些液氨。另外，通过减压器后也可能气体膨胀而降温再次发生相变又变成液体。由于存在相变，造成氨气减压器输出不稳定。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种改善氨气减压器稳定性的方法，用以解决现有技术中氨气减压器输出不稳定的缺陷。
2、一方面，本专利技术提供一种改善氨气减压器稳定性的方法，包括在氨气减压器的进气端和出气端分别串联一个缓冲罐。
3、优选的，将缓冲罐的进气管插入缓冲罐内底部，将缓冲罐的出气管插入在缓冲罐内顶部。
4、优选的，包括：在缓冲罐外部包裹电热带，通过恒温控制模块控制电热带的温度。
5、优选的，恒温控制模块的控温范围为30℃~70℃。
6、优选的，恒温控制模块包括：
7、第一温度传感器，用于检测...
【技术保护点】
1.一种改善氨气减压器稳定性的方法，其特征在于，包括在氨气减压器(1)的进气端和出气端分别串联一个缓冲罐(2)。
2.根据权利要求1所述的一种改善氨气减压器稳定性的方法，其特征在于，将缓冲罐(2)的进气管插入缓冲罐(2)内底部，将缓冲罐(2)的出气管插入在缓冲罐(2)内顶部。
3.根据权利要求1所述的一种改善氨气减压器稳定性的方法，其特征在于，包括：在缓冲罐(2)外部包裹电热带，通过恒温控制模块控制电热带的温度。
4.根据权利要求3所述的一种改善氨气减压器稳定性的方法，其特征在于，恒温控制模块的控温范围为30℃~70℃。
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