【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于化学工艺,尤其涉及一种活性炭及其除杂方法和在制备电子级硼酸中的应用。
技术介绍
1、随着电子工业的快速发展,特别是半导体和集成电路制造技术的不断进步,对电子级化学品的纯度和质量要求越来越高。电子级硼酸作为关键的电子化学品之一,在电子器件的制造过程中扮演着至关重要的角色。电子级硼酸需要具备极高的纯度,杂质含量低,以满足电子工业对化学品的严格要求。
2、目前,电子级硼酸的主要有氧化中和法、电解法、重结晶法和萃取法等。其中,氧化中和法是一种易于操作、成本低且效率高的方法,但目前的氧化中和法得到的硼酸产品纯度较低,金属杂质、有机物杂质含量较高,尤其是总有机碳(toc)含量高,氧化中和法难以达到较好的toc去除效果。有研究提出采用活性炭进行吸附除杂,但是活性炭中含有大量的杂质,尤其是钙、镁含量较高,采用未经处理的活性炭难以达到较好的除杂效果。
技术实现思路
1、为了克服上述现有技术存在的至少一个问题,本专利技术的目的之一在于提供一种活性炭的除杂方法,通过特定的除杂步骤,能够
...【技术保护点】
1.一种活性炭的除杂方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的除杂方法,其特征在于,步骤S1中,所述活性炭为木质活性炭。
3.根据权利要求1所述的除杂方法,其特征在于,步骤S2中,所述超纯水的电导率≤1μS;
4.根据权利要求1所述的除杂方法,其特征在于,步骤S3中,所述金属杂质包括铜、钙、镁、锂、钠、钾、铝、铬、锰、铁、镍、锡、钛、钴、锌、砷、锆、银、镉、金、铅、汞、铟或铊中的至少一种。
5.权利要求1~4任一项所述的除杂方法得到的活性炭。
6.权利要求5所述的活性炭在制备电子级硼酸中的应用
7....
【技术特征摘要】
1.一种活性炭的除杂方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的除杂方法,其特征在于,步骤s1中,所述活性炭为木质活性炭。
3.根据权利要求1所述的除杂方法,其特征在于,步骤s2中,所述超纯水的电导率≤1μs;
4.根据权利要求1所述的除杂方法,其特征在于,步骤s3中,所述金属杂质包括铜、钙、镁、锂、钠、钾、铝、铬、锰、铁、镍、锡、钛、钴、锌、砷、锆、银、镉、金、铅、汞、铟或铊中的至少一种。
5.权利要求1~4任一项所述的除杂方法得到的活性炭。
6.权利要求5所述的活性炭在制备电子级硼酸中的...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴楚明,唐浪浪,赖林清,龙全安,吴芳,罗爱平,
申请(专利权)人:广东芳源新材料集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。