【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开内容的实施方式通常涉及在诸如硅晶片的基板上的薄膜的热处理。特定言之，本公开内容的实施方式涉及用于支撑灯中的灯丝的设备，该灯用于为这种热处理产生辐射。
技术介绍
1、在固态集成电路制造中，通常在外延处理腔室中执行外延处理。设置在外延处理设备中的基座上的基板通常通过位于基板的上方和/或下方的灯加热。基座通常由位于基座的下方的灯加热。上圆顶及下圆顶（可以是石英）将处理腔室包围。升降臂及基座臂移动以便彼此分离，从而将基板与基座分离，以便定位待由机器人从处理腔室移除并由待在处理腔室之内处理的基板替代的经处理的基板。
2、灯保持基板及基座的温度。在灯烧坏的情况下，处理腔室停止生产并且一个或多个灯得以更换。由于更换故障灯所需的停机时间，这些灯的故障给制造商带来沉重的成本。为了避免灯的过早故障，能够承受运输/交付过程而不产生缺陷的灯是优选的。例如，当灯的灯丝从一个或多个灯丝支撑件上脱落时，可能发生过早的故障。
3、图2图示可用于如上文所述的处理腔室中的外延处理的传统的灯200。灯200包括灯泡112、灯丝120、多个灯丝支...
【技术保护点】
1.一种灯，包含：
2.根据权利要求1所述的灯，进一步包含耦接至所述第一玻璃支撑件的第三挂钩支撑件，所述第一挂钩的所述第二垂直部分从所述第一挂钩的所述圆形部分的远离所述第一挂钩的所述第一垂直部分的端部延伸至超过所述第三挂钩支撑件的最靠近所述灯丝的边缘的高度；以及
3.根据权利要求2所述的灯，其中所述第二灯丝支撑件及所述第三灯丝支撑件分别从所述第二玻璃支撑件及所述第一玻璃支撑件悬臂式伸出。
4.根据权利要求2所述的灯支撑件，其中所述第一灯丝支撑件由所述第一玻璃支撑件及所述第二玻璃支撑件支撑。
5.根据权利要求2所述的灯支撑...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种灯，包含：
2.根据权利要求1所述的灯，进一步包含耦接至所述第一玻璃支撑件的第三挂钩支撑件，所述第一挂钩的所述第二垂直部分从所述第一挂钩的所述圆形部分的远离所述第一挂钩的所述第一垂直部分的端部延伸至超过所述第三挂钩支撑件的最靠近所述灯丝的边缘的高度；以及
3.根据权利要求2所述的灯，其中所述第二灯丝支撑件及所述第三灯丝支撑件分别从所述第二玻璃支撑件及所述第一玻璃支撑件悬臂式伸出。
4.根据权利要求2所述的灯支撑件，其中所述第一灯丝支撑件由所述第一玻璃支撑件及所述第二玻璃支撑件支撑。
5.根据权利要求2所述的灯支撑件，其中所述第一灯丝支撑件比所述第二灯丝支撑件及所述第三灯丝支撑件中的一者更远离所述灯丝。
6.根据权利要求2所述的灯支撑件，其中所述第一灯丝支撑件的所述第二垂直部分比所述第二灯丝支撑件的所述第二垂直部分和所述第三灯丝支撑件的所述第二垂直部分中的一者更长。
7.根据权利要求2所述的灯支撑件，其中所述第一灯丝支撑件的所述第一垂直部分比所述第二灯丝支撑件的所述第一垂直部分和所述第三灯丝支撑件的所述第一垂直部分中的一者更长。
8.根据权利要求1所述的灯，其中所述第一灯丝支撑件的所述第二垂直部分所具有的长度在所述第一灯丝支撑件的所述第一垂直部分的长度的60%与100%之间。
9.一种灯，包含：
10.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨燿宏，沙塔努·拉吉夫·加吉尔，考希克·饶，文森特·约瑟夫·基尔霍夫，萨吉尔·卡迪瓦拉，穆尼拉·马胡丁，丹尼尔·周，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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