一种多面型磁流变抛光设备和方法技术

本发明专利技术公开了一种多面型磁流变抛光设备和方法，涉及磁流变抛光技术领域，该设备包括抛光模块、载液轮模块和磁流变液循环模块，抛光模块的运动机构连接抛光辅助机构，抛光辅助机构底部用于连接待抛光件，抛光辅助机构能够驱动待抛光件绕Y向轴转动，运动机构能够驱动抛光辅助机构沿X向平动、沿Y向平动和/或绕Z向轴摆动；载液轮模块具有能够转动的载液轮，用于抛光待抛光件；磁流变液循环模块包括喷嘴和回收装置，能够向载液轮喷射磁流变液，并回收载液轮上的磁流变液。本发明专利技术多面型磁流变抛光方法，通过运动机构，能够使得待抛光件自转的同时，能够沿X向平动、沿Y向平动和/或绕Z向轴摆动，从而适用于多种面型的光学元件的抛光。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁流变抛光，特别是涉及一种多面型磁流变抛光设备和方法。

技术介绍

1、磁流变抛光是用于对光学元器件进行高精度柔性表面抛光的一种技术，其精度可达纳米级别，这项技术广泛应用于航天、军工、芯片制造等重点领域。

2、目前，同一型号磁流变抛光设备只能对单一面型的光学元件进行抛光，难以适用多种面型光学元件，抛光机通用性较低、抛光成本较高、抛光精度较低。因此，亟需设计一种能够适用于多种面型的光学元件抛光的设备。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种多面型磁流变抛光设备和方法，以解决上述现有技术存在的问题，通过运动机构，能够使得待抛光件自转的同时，能够沿x向平动、沿y向平动和/或绕z向轴摆动，从而适用于多种面型的光学元件的抛光。

2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：

3、本专利技术提供一种多面型磁流变抛光设备，包括：

4、抛光模块，所述抛光模块包括运动机构，所述运动机构连接抛光辅助机构，所述抛光辅助机构底部用于连接待抛光件，所述抛光辅助机构能够驱本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多面型磁流变抛光设备，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的多面型磁流变抛光设备，其特征在于：所述抛光模块还包括机架，所述机架上设有所述运动机构，所述运动机构包括Y向运动机构、X向运动机构和绕Z向轴摆动机构，所述Y向运动机构包括两个竖直对称布置的竖直丝杠，两个竖直丝杠之间通过闭合的传动带连接，其中一个所述竖直丝杠传动连接有竖直丝杠驱动电机，所述竖直丝杠上设有竖直移动螺母，两个所述竖直移动螺母之间通过X向安装件连接有X向运动机构，所述X向运动机构包括水平丝杠，所述水平丝杠一端传动连接有水平丝杠驱动电机，所述水平丝杠的水平移动螺母通过摆动机构连接架安装有绕Z向轴摆动...

【技术特征摘要】

1.一种多面型磁流变抛光设备，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的多面型磁流变抛光设备，其特征在于：所述抛光模块还包括机架，所述机架上设有所述运动机构，所述运动机构包括y向运动机构、x向运动机构和绕z向轴摆动机构，所述y向运动机构包括两个竖直对称布置的竖直丝杠，两个竖直丝杠之间通过闭合的传动带连接，其中一个所述竖直丝杠传动连接有竖直丝杠驱动电机，所述竖直丝杠上设有竖直移动螺母，两个所述竖直移动螺母之间通过x向安装件连接有x向运动机构，所述x向运动机构包括水平丝杠，所述水平丝杠一端传动连接有水平丝杠驱动电机，所述水平丝杠的水平移动螺母通过摆动机构连接架安装有绕z向轴摆动机构。

3.根据权利要求2所述的多面型磁流变抛光设备，其特征在于：所述绕z向轴摆动机构包括设置于所述摆动机构连接架上的摆动驱动电机，所述摆动驱动电机的电机轴连接有偏角转动架，所述偏角转动架铰接有母线杆，所述母线杆末端铰接有转动杆，所述转动杆连接有摇摆盘，所述摇摆盘活动设置于所述摆动机构连接架底部，所述摇摆盘底部连接有所述抛光辅助机构；所述摆动驱动电机驱动偏角转动架转动，所述偏角转动架带动母线杆以母线杆与转动杆的相交点为圆心旋转，转动杆受母线杆驱动并带动摇摆盘和抛光辅助机构摆动。

4.根据权利要求3所述的多面型磁流变抛光设备，其特征在于：所述抛光辅助机构包括与所述摇摆盘底部连接的辅助连接架，所述辅助连接架上设有辅助驱动电机，所述辅助驱动电机的电机轴连接有莫氏锥套，所述莫氏锥套底部连接有六角形莫氏锥度圆形工件夹具，所述六角形莫氏锥度圆形工件夹具用于夹持待抛光件。

5.根据权利要求2所述的多面型磁流变抛光设备，其特征在于：还包括运动自锁机构，所述运动自锁机构包括安装于所述机架上的l支撑架，所述l支撑架位于靠近所述竖直丝杠驱动电机位置处，所述l支撑架上设有定位支撑盘架，所述定位支撑盘架内固定安装有固定施加摩擦件，所述竖直丝杠驱动电机的电机轴传动连接有主动推扭盘，所述主动推扭盘底部传动连接有受顶中间件，所述受顶中间件底部能...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘中磊，施泽凯，
申请(专利权)人：北京交通大学，
类型：发明
国别省市：