【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及氟化物光学元件加工输送，具体为一种氟化物光学元器件加工的输送设备及方法。
技术介绍
1、作为一类性能优良的光学材料，氟化物晶体因其具有从深紫外-可见到中远红外波段均具有高透过率，在半导体光刻、紫外激光器、高倍率显微成像、红外探测等领域有广泛应用，尤其是在深紫外波段具有高透过率、高的抗激光损伤阈值和高的折射率均匀性，成为集成电路和半导体产业关键装备领域不可或缺的核心零部件，部分成为限制我国相关产业进步和发展的“卡脖子”材料。
2、氟化物晶体属于软脆类材料，相比于氧化物材料，其机械强度较差，其表面的精密加工成为制约国产氟化物实现高端应用的另一个瓶颈。在加工过程中，易产生崩角破边；兼之氟化物的化学稳定性普遍较差，尤其是部分氟化物材料易潮解，其加工环境和输运过程需要严格做好防护。
3、现有技术中的氟化物光学元器件在加工过程中需要进行输送至加工的工位，但是传统的输送氟化物光学元器件结构裸露在外，容易造成受外界的干扰造成碰撞损坏、表面潮解等问题，由于氟化物光学元器件体积普遍较小，成本高昂，缺少防护措施，输送存在
【技术保护点】
1.一种氟化物光学元器件加工的输送设备，包括：输送架（1）、防护罐体（2）、固定架（7）和齿圈（12），其特征在于：所述输送架（1）的内部开设有输送槽（3），所述输送槽（3）的内部设置有若干防护罐体（2），所述防护罐体（2）的内部底端固定连接有缓冲弹簧（20），所述缓冲弹簧（20）的内部套设有小型减震阻尼，所述缓冲弹簧（20）的顶端固定连接有缓冲板（21），所述防护罐体（2）的顶端盖合有顶盖（16），所述输送架（1）的一端固定连接有防护罩（11），所述防护罩（11）的内部转动配合有齿圈（12），所述齿圈（12）的外侧开设有若干卡槽（4）；
2.根据权利要求...
【技术特征摘要】
1.一种氟化物光学元器件加工的输送设备，包括：输送架（1）、防护罐体（2）、固定架（7）和齿圈（12），其特征在于：所述输送架（1）的内部开设有输送槽（3），所述输送槽（3）的内部设置有若干防护罐体（2），所述防护罐体（2）的内部底端固定连接有缓冲弹簧（20），所述缓冲弹簧（20）的内部套设有小型减震阻尼，所述缓冲弹簧（20）的顶端固定连接有缓冲板（21），所述防护罐体（2）的顶端盖合有顶盖（16），所述输送架（1）的一端固定连接有防护罩（11），所述防护罩（11）的内部转动配合有齿圈（12），所述齿圈（12）的外侧开设有若干卡槽（4）；
2.根据权利要求1所述的一种氟化物光学元器件加工的输送设备，其特征在于：所述固定架（7）和输送架（1）的底部两端均固定连接有若干支撑腿（8）。
3.根据权利要求1所述的一种氟化物光学元器件加工的输送设备，其特征在于：所述固定架（7）的顶端中部均固定连接有固定块（10），所述固定块（10）的内部螺纹连接有螺纹杆（14），所述螺纹杆（14）的一端转动连接有矫正板（5）。
4.根据权利要求3所述的一种氟化物光学元器件加...
【专利技术属性】
技术研发人员：王庆国，王德勇，贾健，
申请(专利权)人：江苏德硅凯氟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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