【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金刚石膜生长设备领域，尤其涉及一种热丝化学气相沉积设备的热丝架装置。
技术介绍
1、目前，热丝化学气相沉积设备是最为普遍也是最为成熟的制备金刚石薄膜的设备，由于热丝化学气相沉积设备造价相对便宜、可控性高，是目前金刚石薄膜工业应用中的主要制备设备，制备金刚石薄膜的一大关键技术是提高金刚石薄膜的品质和均匀性，而设备的热丝架装置是制备沉积大面积、品质稳定和厚度均匀金刚石薄膜的核心装置；现有的热丝架装置主要采用水平结构，当加热丝被加热到2000℃以上产生膨胀，长度随之增加加热丝下垂，导致镀膜样品表面温度不均匀，沉积的金刚石薄膜品质下降厚度也不均匀。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是提供一种热丝化学气相沉积设备的热丝架装置，通过在加热丝一端引入拉簧，使加热丝在高温状态下保持水平状态不下垂，确保镀膜样品表面温场均匀。
2、本技术的技术方案：
3、一种热丝化学气相沉积设备的热丝架装置，四根水冷电极垂直安置在沉积腔室底板上，且沿长方形的四角排布，四根水冷电极两...
【技术保护点】
1.一种热丝化学气相沉积设备的热丝架装置，其特征在于，四根水冷电极垂直安置在沉积腔室底板上，且沿长方形的四角排布，四根水冷电极两两为一组，前钼电极的两端分别通过钼电极定位螺钉固定在一组水冷电极的上端，后钼电极的两端分别通过钼电极定位螺钉固定在另一组水冷电极的上端，加热丝固定板的两端分别通过加热丝固定板连接螺钉固定在前钼电极底部；
2.按照权利要求1所述的热丝化学气相沉积设备的热丝架装置，其特征在于，加热丝为多根平行均匀排布，每根加热丝直径0.5～1mm的钨丝或钽丝。
3.按照权利要求1或2所述的热丝化学气相沉积设备的热丝架装置，其特征在于，在安...
【技术特征摘要】
1.一种热丝化学气相沉积设备的热丝架装置，其特征在于，四根水冷电极垂直安置在沉积腔室底板上，且沿长方形的四角排布，四根水冷电极两两为一组，前钼电极的两端分别通过钼电极定位螺钉固定在一组水冷电极的上端，后钼电极的两端分别通过钼电极定位螺钉固定在另一组水冷电极的上端，加热丝固定板的两端分别通过加热丝固定板连接螺钉固定在前钼电极底部；
2.按照权利要求1所述的热丝化学气相沉积设备的热丝架装置，其特征在于，加热丝为多根平行均匀排布，每根加热丝直径0.5～1mm的钨丝或钽丝。
3.按照权利要求1或2所述的热丝化学气相沉积设备的热丝架装置，其特征在于，在安装加热丝时，每根加热丝一端通过加热丝紧固螺钉固定在...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘鲁生，姜辛，黄楠，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，
类型：新型
国别省市：
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