一种多功能真空实验仪制造技术

本技术公开了一种多功能真空实验仪，包括箱体、连接在箱体上的真空镀膜室、设置在箱体内的真空机组，真空镀膜室包含连接在箱体上的真空室底板和钟罩；其特征是还包括连接在箱体上的控制屏；所述的真空机组包含通过管路与真空镀膜室连接的扩散泵和机械泵、置于箱体内且处于扩散泵外侧对扩散泵进行加热的加热器以及用于带动加热器进行上下动作而提高扩散泵散热效率的驱动器。该技术通过本实验仪的设置，可以直观的观察到真空镀膜室内镀膜的全过程；同时在真空镀膜室内复合设置蒸发镀膜装置和磁控溅射镀膜装置，一个实验仪可进行蒸发镀膜的实验和磁控溅射的实验。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空实验仪，具体是指一种多功能真空实验仪。

技术介绍

1、传统的真空实验仪起组件大多为不透明的金属材质，因此其在进行实验时，实验人员和学生只能够通过仪器仪表检测的数据来获得实验数据和试验过程，直接通过观察完成实验的产品来得出实验结果，实验过程中的物理过程无法之间在实验过程中进行直观的观察。

2、并且现有的真空实验仪在实验时只能进行单种类的实验，无法进行多种类的实验，为此，提出一种多功能真空实验仪。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决以上问题而提出一种多功能真空实验仪。

2、为了达到上述目的，本技术提供了如下技术方案一种多功能真空实验仪，包括箱体、连接在箱体上的真空镀膜室、设置在箱体内的真空机组，真空镀膜室包含连接在箱体上的真空室底板和钟罩；其特征是还包括连接在箱体上的控制屏；所述的真空机组包含通过管路与真空镀膜室连接的扩散泵和机械泵、置于箱体内且处于扩散泵外侧对扩散泵进行加热的加热器以及用于带动加热器进行上下动作而提高扩散泵散热效率的驱动器。

3、进一步优选的，所述的驱动器可采用液压升降台、螺杆传动升降台、气缸、电缸中的任意一种。

4、进一步优选的，所述的真空镀膜室内设置有基片放置架以及用于镀膜的蒸发镀膜装置和磁控溅射镀膜装置；所述的箱体内还安装有用于带动基片放置架进行转动的旋转器。

5、进一步优选的，所述的真空镀膜室内还设有烘烤灯。

6、进一步优选的，所述的旋转器可采用伺服电机。

7、进一步优选的，所述的钟罩和扩散泵均为透明体，均采用高强度真空玻璃材质制成。

8、本技术的有益效果：通过本实验仪的设置，可以直观的观察到真空镀膜室内镀膜的全过程；同时在真空镀膜室内复合设置蒸发镀膜装置和磁控溅射镀膜装置，一个实验仪可进行蒸发镀膜的实验和磁控溅射的实验；

9、通过控制屏的设置，在对真空镀膜室进行抽真空时还能够进行真空的测量与获得的实验，通过抽真空的时间与真空度的关系在控制屏上绘制出曲线，能够更直观的进行观察；同时在抽真空完成后，全部所有阀门，控制屏还可根据在多长时间下，气压漏的量以及在多长的时间内漏进多少气，直接在控制屏上进行显示，制成曲线图，可进行漏率的测试；一台实验仪可进行多种实验，实现一台多用；

10、通过将加热器置于扩散泵外侧，且通过驱动器的设置，带动加热器进行上下动作，在加热时通过驱动器带动加热器向上动作与扩散泵接触后进行加热，在加热完成后通过驱动器带动加热器向下动作，远离扩散泵，增大扩散泵与空气的接触面积而提高其散热效率。

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【技术保护点】

1.一种多功能真空实验仪，包括箱体（1）、连接在箱体（1）上的真空镀膜室（2）、设置在箱体（1）内的真空机组（3），真空镀膜室（2）包含连接在箱体（1）上的真空室底板（21）和钟罩（22）；其特征是还包括连接在箱体（1）上的控制屏（4）；所述的真空机组（3）包含通过管路与真空镀膜室（2）连接的扩散泵（31）和机械泵（32）、置于箱体（1）内且处于扩散泵（31）外侧对扩散泵（31）进行加热的加热器（33）以及用于带动加热器（33）进行上下动作而提高扩散泵（31）散热效率的驱动器（5）。

2.根据权利要求1所述的一种多功能真空实验仪，其特征在于：所述的驱动器（5）可采用液压升降台、螺杆传动升降台、气缸、电缸中的任意一种。

3.根据权利要求2所述的一种多功能真空实验仪，其特征在于：所述的真空镀膜室（2）内设置有基片放置架（27）以及用于镀膜的蒸发镀膜装置（26）和磁控溅射镀膜装置（23）；所述的箱体（1）内还安装有用于带动基片放置架（27）进行转动的旋转器（24）。

4.根据权利要求3所述的一种多功能真空实验仪，其特征在于：所述的真空镀膜室（2）内还设有烘烤灯（25）。

5.根据权利要求3所述的一种多功能真空实验仪，其特征在于：所述的旋转器（24）可采用伺服电机。

6.根据权利要求1所述的一种多功能真空实验仪，其特征在于：所述的钟罩（22）和扩散泵（31）均为透明体，采用高强度真空玻璃材质制成。

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【技术特征摘要】

1.一种多功能真空实验仪，包括箱体（1）、连接在箱体（1）上的真空镀膜室（2）、设置在箱体（1）内的真空机组（3），真空镀膜室（2）包含连接在箱体（1）上的真空室底板（21）和钟罩（22）；其特征是还包括连接在箱体（1）上的控制屏（4）；所述的真空机组（3）包含通过管路与真空镀膜室（2）连接的扩散泵（31）和机械泵（32）、置于箱体（1）内且处于扩散泵（31）外侧对扩散泵（31）进行加热的加热器（33）以及用于带动加热器（33）进行上下动作而提高扩散泵（31）散热效率的驱动器（5）。

2.根据权利要求1所述的一种多功能真空实验仪，其特征在于：所述的驱动器（5）可采用液压升降台、螺杆传动升降台、气缸、电缸中的任意一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：方学锋，卢伟，张甬鑫，陈喜福，杨合林，
申请(专利权)人：杭州大华仪器制造有限公司，
类型：新型
国别省市：