具有节能再生功能的气/液体纯化的四步循环纯化设备制造技术

本发明专利技术具有节能再生功能的气/液体纯化的四步循环纯化设备，涉及高纯和超高纯气体(液体)纯化工艺技术领域，尤其涉及由4～6N纯度气体(液体)纯化为7～9N高纯、超高纯气体(液体)的纯化系统。本发明专利技术在与原料气入口串连阀的后端管路和与产品气出口切断阀的前端管路之间设置有双向功能管阀系统；双向功能管阀系统与纯化柱A、纯化柱B、切断阀AV1、切断阀BV1、切断阀AV4和切断阀BV4共同实现四步循环纯化方法；在与再生气入口并联的管路上再生气控制阀V6和单向阀之间设置有再生气减压稳压及安全系统。本发明专利技术的技术方案解决了现有技术中的纯化柱无法完全使用，产品气质量不稳定、需二次质检，能耗高，经济效益差等问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术具有节能再生功能的气/液体纯化的四步循环纯化设备，涉及高纯和超高纯气体(液体)纯化工艺，尤其涉及由4～6n纯度气体(液体)纯化为7～9n高纯、超高纯气体(液体)的纯化系统。

技术介绍

1、在高纯、超纯、超高纯气体纯化的工艺中，通常使用双柱切换工作及再生的工艺，以保证连续产气。目前，使用的工艺是一个纯化柱在工作产气，另一个纯化柱在再生及等待中，待工作的纯化柱到了设定的工作时间后，切换到另一个纯化柱工作，自身开始进行再生及等待的过程，如此循环。为了保证产品气的品质，纯化柱都不能完全使用，因为杂质指标超过要求时就不能使用，即使纯化柱还有一定的纯化能力。

2、目前的工艺，一旦原料气杂质波动大，在某些阶段，杂质就会穿透纯化柱而使产品气品质不达标，从而使生产受到严重影响，损失有可能高达百万计。

3、目前，产品气品质依靠昂贵的进口在线分析仪器进行分析检测，价格高达上百万甚至几百万一套，仪器本身也非常娇贵。目前由于贸易环境的改变，高精分析仪器价格超高，供货期长，维修保养难且贵。

4、目前的再生工艺为：卸压、再生活化时再生气与吹本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有节能再生功能的气/液体纯化的四步循环纯化设备，包括：纯化柱A(1)与纯化柱B(2)；纯化柱A(1)与纯化柱B(2)的入口端通过管路并联后分别与原料气入口和废气排放口相连接；在与原料气入口并联的管路前端，与纯化柱A(1)连接的管路上设置有切断阀AV1，与纯化柱B(2)连接的管路上设置有切断阀BV1；在与废气排放口并联的管路前端，与纯化柱A(1)连接的管路上设置有切断阀AV2，与纯化柱B(2)连接的管路上设置有切断阀BV2；纯化柱A(1)纯化柱B(2)的出口端通过管路并联后分别与产品气出口和再生气入口并联连接；在与产品气出口并联的管路前端，与纯化柱A(1)连接的管路上设置有切断阀...

【技术特征摘要】

1.一种具有节能再生功能的气/液体纯化的四步循环纯化设备，包括：纯化柱a(1)与纯化柱b(2)；纯化柱a(1)与纯化柱b(2)的入口端通过管路并联后分别与原料气入口和废气排放口相连接；在与原料气入口并联的管路前端，与纯化柱a(1)连接的管路上设置有切断阀av1，与纯化柱b(2)连接的管路上设置有切断阀bv1；在与废气排放口并联的管路前端，与纯化柱a(1)连接的管路上设置有切断阀av2，与纯化柱b(2)连接的管路上设置有切断阀bv2；纯化柱a(1)纯化柱b(2)的出口端通过管路并联后分别与产品气出口和再生气入口并联连接；在与产品气出口并联的管路前端，与纯化柱a(1)连接的管路上设置有切断阀av4，与纯化柱b(2)连接的管路上设置有切断阀bv4；在再生气入口并联的管路后端，与纯化柱a(1)连接的管路上设置有切断阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：付啟贵，
申请(专利权)人：付翛，
类型：发明
国别省市：