一种真空蒸镀卷绕镀膜装置的膜面质量调控方法制造方法及图纸

技术编号:43428200 阅读:18 留言:0更新日期:2024-11-27 12:39
本发明专利技术公开了一种真空蒸镀卷绕镀膜装置及膜面质量调控方法,装置包括:放卷辊、收卷辊,以及位于放卷辊和收卷辊之间的镀膜鼓、镀膜鼓刮刀、膜面视觉检测相机、方阻检测仪;还包括位于镀膜鼓底部的蒸发舟和送丝机构、位于真空蒸镀室外部的蒸发舟表面监测相机,以及与镀膜鼓刮刀、膜面视觉检测相机、方阻检测仪、蒸发舟、送丝机构和蒸发舟表面监测相机连接的控制装置。通过本发明专利技术公开的真空蒸镀卷绕镀膜装置及膜面质量调控方法,能够提高膜面质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集流体,具体为一种真空蒸镀卷绕镀膜装置的膜面质量调控方法


技术介绍

1、真空蒸镀卷绕镀膜设备是一类对柔性基材表面在较高真空度下进行连续镀膜的设备。目前的真空卷绕镀膜设备包括单面蒸镀设备和双面蒸镀设备。单面和双面真空蒸镀卷绕镀膜设备的机内下部位置设有蒸镀镀膜室,机内上部设有柔性基材收放卷室和供基材穿过的过渡室。收放卷室主要作用为柔性基材进行放卷和镀膜后收卷,蒸镀镀膜室的主要作用是为在柔性基材表面镀膜提供真空场所、蒸发源和蒸发材料所在位置,过渡室主要作用为在柔性基材在进入镀膜腔室前或基材镀膜完成进入收卷前将材料进行展平对齐,防止出现镀膜瑕疵。

2、一般的真空蒸镀卷绕镀膜设备,其蒸镀室内有多个蒸发舟,每个蒸发舟配一个送丝盘和送丝机构,整体镀膜质量受每一个蒸发舟、送丝机构以及蒸发室内部整体变化影响,因此其镀膜质量非常低,经常出现表面针孔、穿孔、金属微粒溅射、表面方阻不均一等瑕疵问题。出现以上问题时基本需要人工进行干预,且人工调整效率低、速度慢,要求设备操作人员具备丰富的真空蒸镀镀膜设备操作经验。


>技术实现思路本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空蒸镀卷绕镀膜装置,其特征在于,包括:放卷辊(110)、收卷辊(120),以及位于放卷辊(110)和收卷辊(120)之间的镀膜鼓(200)、镀膜鼓刮刀(300)、膜面视觉检测相机(400)、方阻检测仪(500);还包括位于镀膜鼓(200)底部的蒸发舟(600)和送丝机构(700)、位于真空蒸镀室(A)外部的蒸发舟表面监测相机(800),以及与镀膜鼓刮刀(300)、膜面视觉检测相机(400)、方阻检测仪(500)、蒸发舟(600)、送丝机构(700)和蒸发舟表面监测相机(800)连接的控制装置。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀卷绕镀膜装置,其特征在于,镀膜鼓(200...

【技术特征摘要】

1.一种真空蒸镀卷绕镀膜装置,其特征在于,包括:放卷辊(110)、收卷辊(120),以及位于放卷辊(110)和收卷辊(120)之间的镀膜鼓(200)、镀膜鼓刮刀(300)、膜面视觉检测相机(400)、方阻检测仪(500);还包括位于镀膜鼓(200)底部的蒸发舟(600)和送丝机构(700)、位于真空蒸镀室(a)外部的蒸发舟表面监测相机(800),以及与镀膜鼓刮刀(300)、膜面视觉检测相机(400)、方阻检测仪(500)、蒸发舟(600)、送丝机构(700)和蒸发舟表面监测相机(800)连接的控制装置。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀卷绕镀膜装置,其特征在于,镀膜鼓(200)包括依次设置的第一侧面镀膜鼓(210)和第二侧面镀膜鼓(220),用于实现膜材两面镀厚。

3.根据权利要求2所述的真空蒸镀卷绕镀膜装置,其特征在于,镀膜鼓刮刀(300)的数量与镀膜鼓(200)的数量匹配,包括第一镀膜鼓刮刀(310)和第二镀膜鼓刮刀(320),第一镀膜鼓刮刀(310)位于第一侧面镀膜鼓(210)的非蒸镀面,用以清理刮除因蒸镀过程金属溅射黏附在第一侧面镀膜鼓(210)表面的金属微粒;第二镀膜鼓刮刀(320)位于第二侧面镀膜鼓(220)的非蒸镀面,用以清理刮除因蒸镀过程金属溅射黏附在第二侧面镀膜鼓(220)表面的金属微粒。

4.根据权利要求2所述的真空蒸镀卷绕镀膜装置,其特征在于,膜面视觉检测相机(400)位于镀膜鼓(200)完成蒸镀作业之后的工艺流程中;包括第一膜面视觉检测相机(410)和第二膜面视觉检测相机(420),第一膜面视觉检测相机(410)位于第一侧面镀膜鼓(210)完成蒸镀作业之后的工艺流程中,第二膜面视觉检测相机(420)位于第二侧面镀膜鼓(220)完成蒸镀作业之后的工艺流程中。

5.根据权利要求2所述的真空...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐辉许晓龙王超梁燕郑文贤徐元琛蒯赟毛志伟
申请(专利权)人:安徽元琛环保科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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