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【技术实现步骤摘要】
本公开涉及显示装置和用于提供显示装置的方法。
技术介绍
1、随着信息时代的发展,对用于显示图像的显示装置的需求已经以各种形式增加。例如,显示装置已经应用到各种电子装置(诸如智能电话、数码相机、膝上型计算机、导航仪和智能电视机)。显示装置可以是平板显示装置(诸如液晶显示装置、场发射显示装置和有机发光显示装置)。
2、在平板显示装置之中,发光显示装置包括其中显示面板的多个像素中的每一个可以自发光的发光元件,从而在没有向显示面板提供光的背光单元的情况下也可以显示图像。
技术实现思路
1、应用到用于提供虚拟现实和增强现实的眼镜型装置的显示装置以非常小的尺寸(例如,两英寸或更小)实施以便应用到眼镜型装置,但显示装置应该具有高像素集成度,以便以高分辨率实施。例如,显示装置可以具有200每英寸像素(ppi)或更高的高像素集成度。
2、当如上所述显示装置以非常小的尺寸实施但具有高像素集成度时,设置发光元件的发射区域的面积减小,并且因此,难以通过掩模工艺针对每个发射区域实施彼此分开的发光元件。
3、本公开的各方面提供一种显示装置,其中可以在多个发射区域中的每一个中形成或提供单独的发光元件,而无需掩模工艺。
4、本公开的各方面还提供了一种显示装置,具有减少的由在制造或提供显示装置的工艺期间执行的等离子体曝光或蚀刻工艺导致的对像素电极的损坏。
5、本公开的各方面还提供了一种用于制造(或提供)显示装置的方法,具有减少的由在显示装置的制造工艺期间执
6、然而,本公开的各方面不限于本文中阐述的那些。通过参照下面给出的本公开的详细描述,本公开的上述和其它方面对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加明显。
7、根据本公开的实施例,一种显示装置包括设置在基底上的第一像素电极、设置在所述基底上且使所述第一像素电极暴露的无机绝缘层、设置在所述第一像素电极上的第一发光层、设置在所述第一发光层上的第一公共电极、设置在所述无机绝缘层上且包括锌(zn)的第一堤层、设置在所述第一堤层上且暴露所述第一公共电极的第二堤层、以及设置在所述第二堤层上的第三堤层,其中,所述第二堤层的侧表面比所述第一堤层的侧表面突出,并且所述第三堤层的侧表面比所述第二堤层的所述侧表面突出。
8、所述第一堤层的所述侧表面可以与所述第一发光层接触,并且可以不与所述第一公共电极接触。
9、所述第一堤层可以包括氧化锌铟锡(zito)、氧化铟镓锌(igzo)和氧化铟锌(izo)中的至少一种。
10、所述第一堤层可以包括氧化锌铟锡(zito),并且包括在所述第一堤层中的锡(sn)与原子的总数量的比率可以为约14原子百分比(at%)至约22at%。
11、所述第二堤层的突出长度可以指所述第二堤层的所述侧表面相对于所述第一堤层的所述侧表面的突出长度,所述第三堤层的突出长度可以指所述第三堤层的所述侧表面相对于所述第二堤层的所述侧表面的突出长度,并且所述第二堤层的所述突出长度可以小于所述第三堤层的所述突出长度。
12、所述第一堤层可以具有至约的范围内的厚度。
13、所述第一公共电极可以与所述第二堤层的所述侧表面接触。
14、所述无机绝缘层可以不与所述第一像素电极的上表面接触,并且所述第一发光层的一个部分可以设置在所述第一像素电极与所述无机绝缘层之间。
15、所述显示装置还可以包括残留(residual)图案,所述残留图案设置在所述无机绝缘层与所述第一像素电极之间并且包括锌(zn)。
16、所述残留图案可以包括氧化锌铟锡(zito)、氧化铟镓锌(igzo)、氧化铟锌(izo)和氧化锌锡(zto)中的一种或多种(至少一种)。
17、所述无机绝缘层的侧表面可以在朝向第一发射区域的方向上比所述第三堤层的所述侧表面和所述残留图案的侧表面突出。
18、所述第二堤层可以包括铝(al),所述第三堤层可以包括钛(ti),所述第二堤层的厚度可以在约至约的范围内,并且所述第三堤层的厚度可以在约至约的范围内。
19、所述显示装置还可以包括:第一有机图案,设置在所述第三堤层上且包括与所述第一发光层的材料相同的材料;第一电极图案,设置在所述第一有机图案上且包括与所述第一公共层的材料相同的材料;以及第一无机层,设置在所述第一公共电极的上表面、所述第二堤层的所述侧表面、所述第三堤层的下表面和所述第一电极图案的上表面上,其中,所述第一发光层和所述第一有机图案可以分开,并且所述第一公共电极和所述第一电极图案可以分开。
20、所述显示装置还可以包括:第二像素电极,设置在所述基底上且与所述第一像素电极间隔开;第二发光层,设置在所述第二像素电极上;第二公共电极,设置在所述第二发光层上且与所述第一公共电极间隔开;第二有机图案,设置在所述第三堤层上且包括与所述第二发光层的材料相同的材料;第二电极图案,设置在所述第二有机图案上且包括与所述第二公共电极的材料相同的材料;以及第二无机层,设置在所述第二公共电极的上表面、所述第二堤层的所述侧表面、所述第三堤层的所述下表面和所述第二电极图案的上表面上,其中,所述无机绝缘层可以暴露所述第二像素电极,所述第二堤层可以暴露所述第二公共电极,所述第一无机层和所述第二无机层可以设置为间隔开,并且所述第三堤层的一部分可以暴露于所述第一无机层和所述第二无机层之间的空间中。
21、根据本公开的实施例,一种用于制作(或提供)显示装置的方法包括:在基底上形成彼此间隔开的多个像素电极、在所述基底和所述多个像素电极上形成牺牲层、在所述牺牲层上形成无机绝缘材料层、以及在所述无机绝缘材料层上形成第一堤材料层;在所述第一堤材料层上形成第二堤材料层,并在所述第二堤材料层上形成第三堤材料层;蚀刻所述第二堤材料层和所述第三堤材料层,以形成暴露与所述多个像素电极重叠的所述第一堤材料层的孔;对通过所述孔暴露的所述第二堤材料层的侧表面进行湿蚀刻,以部分地暴露所述第三堤材料层的下表面;蚀刻所述第一堤材料层和所述牺牲层,以暴露所述多个像素电极;以及在所述多个像素电极之中的第一像素电极上形成第一发光层和第一公共电极,并在所述第三堤材料层上形成第一有机图案材料层和第一电极图案材料层。
22、在蚀刻所述牺牲层以暴露所述多个像素电极时,可以暴露所述第二堤材料层的下表面的一部分和所述无机绝缘材料层的下表面的一部分,并且所述牺牲层的一部分可以保留为残留图案而不被蚀刻。
23、所述第一堤材料层和所述牺牲层包括锌(zn)。
24、所述第一堤材料层包括氧化锌铟锡(zito),并且包括在所述第一堤材料层中的锡(sn)的比率为约14at%至约22at%。
25、用于制作显示装置的所述方法还可以包括:在所述第一公共电极和所述第一电极图案材料层上形成第一无机材料层;在与所述第一像素电极重叠的所述第一无机材料层上形成掩模图案;以及通过蚀本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种显示装置,其中,所述显示装置包括:
2.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一堤层的所述侧表面与所述第一发光层接触,并且不与所述第一公共电极接触。
3.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一堤层包括氧化锌铟锡、氧化铟镓锌和氧化铟锌中的至少一种。
4.根据权利要求3所述的显示装置,其中,
5.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第二堤层的所述侧表面与所述第一堤层的所述侧表面之间的距离小于所述第二堤层的所述侧表面与所述第三堤层的所述侧表面之间的距离。
6.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一堤层具有在从50埃至600埃的范围内的厚度。
7.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一公共电极与所述第二堤层的所述侧表面接触。
8.根据权利要求1所述的显示装置,其中,在所述第一发射区域内,
9.根据权利要求8所述的显示装置,其中,所述显示装置还包括残留图案,所述残留图案在所述无机绝缘层与所述第一像素电极之间的空间中,并且所述残留图案包括锌。
10.根
11.根据权利要求9所述的显示装置,其中,
12.根据权利要求1所述的显示装置,其中,
13.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述显示装置还包括:
14.根据权利要求13所述的显示装置,其中,所述显示装置还包括:
15.一种用于提供显示装置的方法,其中,所述方法包括:
16.根据权利要求15所述的方法,其中,所述蚀刻所述第一堤材料层和所述牺牲层还提供:
17.根据权利要求15所述的方法,其中,所述第一堤材料层和所述牺牲层中的每一者包括锌。
18.根据权利要求17所述的方法,其中,
19.根据权利要求15所述的方法,其中,所述方法还包括:
20.根据权利要求19所述的方法,其中,在去除所述第一有机图案材料层、所述第一电极图案材料层和所述第一无机材料层的每一者的在所述第一发射区域的所述外部的所述部分之后,所述方法还包括:
...【技术特征摘要】
1.一种显示装置,其中,所述显示装置包括:
2.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一堤层的所述侧表面与所述第一发光层接触,并且不与所述第一公共电极接触。
3.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一堤层包括氧化锌铟锡、氧化铟镓锌和氧化铟锌中的至少一种。
4.根据权利要求3所述的显示装置,其中,
5.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第二堤层的所述侧表面与所述第一堤层的所述侧表面之间的距离小于所述第二堤层的所述侧表面与所述第三堤层的所述侧表面之间的距离。
6.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一堤层具有在从50埃至600埃的范围内的厚度。
7.根据权利要求1所述的显示装置,其中,所述第一公共电极与所述第二堤层的所述侧表面接触。
8.根据权利要求1所述的显示装置,其中,在所述第一发射区域内,
9.根据权利要求8所述的显示装置,其中,所述显示装置还包括残留图案,所述残留图案在所述无机绝缘层与所述第一像素电极之间的空间中,并且所述残留图案包括锌。
【专利技术属性】
技术研发人员:朴俊龙,申铉亿,杨受京,李东敏,
申请(专利权)人:三星显示有限公司,
类型:发明
国别省市:
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