一种标定装置制造方法及图纸

一种标定装置，包括标定组件，其包括：基底；感光结构，其涂覆在基底表面，感光结构包括周期性设置的感光变色材料结构和光稳定剂结构；其中，感光结构的一个周期包括一个感光变色材料结构和一个光稳定剂结构；基底表面光滑平整，基底为矩形或者椭圆形；基底由玻璃或金属制成；感光结构涂覆在基底的上表面或者下表面，光稳定剂结构占感光结构的5％左右，感光变色材料结构占感光结构的95％左右。本技术周期性设置能够保证感光性能的均匀性，减小视觉系统采集误差，周期宽度足够小，可以保证感光图形的精细度；周期性设置的光稳定剂可以延长感光变色材料结构的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光直写光刻设备，尤其是一种标定装置。

技术介绍

1、ldi(laser direct imaging)激光直接成像技术，用于pcb工艺中的图形转移工序，与传统的底片接触曝光方法有所不同，激光直接成像直接用激光将数据图像，在印制线路板上成像。近年来，pcb图像越来越精密，对光刻机的要求越来越高。

2、专利cn111221224a，提出用一种感光变色标尺来进行标定光刻镜头的位置关系，然而传统的感光变色材料在长时间重复的光照下，会慢慢的失去变色特性，影响标定精度，从而需要频繁更换，增加了物料成本以及维护时间成本，而且失效过程不可控，导致在更换标尺之前，标定精度下降，直接影响对位精度与拼接精度，带来产品质量问题。

3、为此，我们提出一种标定装置。

技术实现思路

1、本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种标定装置，感光结构包括周期性设置的感光变色材料结构和光稳定剂结构，感光结构的一个周期包括一个感光变色材料结构和一个光稳定剂结构，从而能够保证感光性能的均匀性，减小视觉系统采集本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种标定装置，应用于光刻机中，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种标定装置，其特征在于：所述基底(601)表面光滑平整，基底(601)为矩形或者椭圆形。

3.如权利要求2所述的一种标定装置，其特征在于：所述基底(601)由玻璃或金属制成，感光结构(602)涂覆在基底(601)的上表面。

4.如权利要求2所述的一种标定装置，其特征在于：所述基底(601)由透明材料制成，感光结构(602)涂覆在基底(601)的下表面。

5.如权利要求1所述的一种标定装置，其特征在于：所述光刻机除了包括标定组件(6)，还包括大理石基座(1)、运动平...

【技术特征摘要】

1.一种标定装置，应用于光刻机中，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种标定装置，其特征在于：所述基底(601)表面光滑平整，基底(601)为矩形或者椭圆形。

3.如权利要求2所述的一种标定装置，其特征在于：所述基底(601)由玻璃或金属制成，感光结构(602)涂覆在基底(601)的上表面。

4.如权利要求2所述的一种标定装置，其特征在于：所述基底(601)由透明材料制成，感光结构(602)涂覆在基底(601)的下表面。

5.如权利要求1所述的一种标定装置，其特征在于：所述光刻机除了包括标定组件(6)，还包括大理石基座(1)、运动平台、曝光系统和对位系统。

6.如权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍大云，刘麟跃，
申请(专利权)人：锡凡科技滁州有限公司，
类型：新型
国别省市：