一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，属于SiC同IGBT功率半导体工业模块技术领域，包括箱体，箱体内分别安装有四组氮气加热炉和四组氮气冷却炉，冷却炉与加热炉内部结构相同，加热炉安装在冷却炉前端，且每组加热炉与冷却炉分别通过所对接平行通道的气动门自动连通，冷却炉与加热炉一侧的侧壁上均安装有气动门，箱体进出料口安装自动上下料机构，升降机构上安装有自动对位输送机构。本发明专利技术克服了现有技术的不足，通过设置加热炉、冷却炉、升降机构、输送机构、发热板机构和输送插件等结构之间的相互配合可以自动来对产品进行上料、加热和冷却加工，不需要多人进行手动操作，如此，减少人工劳动力，节约时间，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及sic功率模块领域，尤其是涉及一种半导体制程设备全自动氮气无氧化固化炉烘箱。

技术介绍

1、半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。半导体在制备过程中，经常需要通过全自动无氧化烘烤箱进行加工。

2、目前，现有的全自动无氧化烘烤箱需要多人进行进料、加热和出料步骤，如此，增加人工劳动力，耗时较长，降低工作效率。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，克服了现有技术的不足。

2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，包括箱体，所述箱体内分别安装有四组加热炉和四组冷却炉，所述冷却炉与加热炉内部结构相同，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内分别安装有四组加热炉(2)和四组冷却炉(3)，所述冷却炉(3)与加热炉(2)内部结构相同，所述加热炉(2)安装在冷却炉(3)前端，且两组加热炉(2)与冷却炉(3)分别通过对接通道(4)相连通，所述冷却炉(3)与加热炉(2)一侧的侧壁上均安装有气动门(5)，所述箱体(1)上安装有升降机构(6)，所述升降机构(6)上安装有输送机构(7)，且输送机构(7)位于对应的气动门(5)位置设置。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，其特征在于：所述加热炉(2)与冷却炉(3)内...

【技术特征摘要】

1.一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内分别安装有四组加热炉(2)和四组冷却炉(3)，所述冷却炉(3)与加热炉(2)内部结构相同，所述加热炉(2)安装在冷却炉(3)前端，且两组加热炉(2)与冷却炉(3)分别通过对接通道(4)相连通，所述冷却炉(3)与加热炉(2)一侧的侧壁上均安装有气动门(5)，所述箱体(1)上安装有升降机构(6)，所述升降机构(6)上安装有输送机构(7)，且输送机构(7)位于对应的气动门(5)位置设置。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，其特征在于：所述加热炉(2)与冷却炉(3)内均安装有氮气集气盒(8)，所述加热炉(2)内安装有自动程序控制发热板机构(9)，且发热板机构(9)位于氮气集气盒(8)下方位置，位于所述氮气集气盒(8)下方位置的加热炉(2)与冷却炉(3)内均安装有输送自动可调宽窄机构(10)，所述加热炉(2)与冷却炉(3)顶端均安装有氮气进气接头(11)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，其特征在于：所述加...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙积强，
申请(专利权)人：东莞市三仓机械有限公司，
类型：发明
国别省市：