一种光学反射仪和检测待检测样品表面的方法技术

一种光学反射仪、检测装置、化学机械研磨设备和检测待检测样品表面的方法。光学反射仪包括：至少一个光源(10)、分光件(20)和第一反光件(30)；光源(10)用于产生初始光束(100)；分光件(20)位于初始光束(100)的光路中，用于将初始光束(100)分割为第一分束(101)和第二分束(102)；第一分束(101)照射在目标面，第一反光件(30)用于改变第二分束(102)的传播方向，以使第二分束(102)照射在目标面。通过分光件(20)，能够将光源(10)产生的初始光束(100)分割为两个沿不同方向进行传播的分束，从而能够减少光源(10)的使用数量，有利于降低光学反射仪的制作成本和体积，便于实现小型化设计。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

pct国内申请，权...

【专利技术属性】
技术研发人员：高瑞彦，王海峰，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：