【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
1.本公开的各方面整体涉及包括半导体器件的装置，并且更具体地(但不排他地)涉及高密度电路中的栅极间隔件结构及其制造技术。2.相关技术描述无线通信系统已经发展了许多代，包括第一代模拟无线电话服务(1g)、第二代(2g)数字无线电话服务(包括过渡的2.5g和2.75g网络)、第三代(3g)高速数据、具有互联网能力的无线服务和第四代(4g)服务(例如，长期演进(lte)或wimax)。目前有许多不同类型的无线通信系统在使用，包括蜂窝系统和个人通信服务(pcs)系统。已知的蜂窝系统的示例包括蜂窝模拟高级移动电话系统(amps)，以及基于码分多址(cdma)、频分多址(fdma)、时分多址(tdma)、全球移动通信系统(gsm)等的数字蜂窝系统。被称为新无线电(nr)的第五代(5g)无线标准实现更高的数据传输速度、更多数量的连接和更好的覆盖范围以及其他改善。根据下一代移动网络联盟，5g标准被设计成提供与先前标准相比更高的数据率、更准确的定位和其他技术增强。无线通信的技术和进步正在改变汽车工业。现代交通工具可以是完全云连接的并且允许乘客在完全沉浸式体验中与汽车连接。连接到...
【技术保护点】
1.一种装置，所述装置包括半导体器件，其中所述半导体器件包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二栅极间隔件结构具有与所述第一栅极间隔件结构相同的厚度。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二栅极间隔件结构具有与所述第三栅极间隔件结构相同的厚度。
4.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二栅极间隔件结构相对于所述第一栅极间隔件结构具有至少一种不同的材料。
5.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二栅极间隔件结构具有与所述第一栅极间隔件结构不同数量的间隔件层。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种装置，所述装置包括半导体器件，其中所述半导体器件包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二栅极间隔件结构具有与所述第一栅极间隔件结构相同的厚度。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二栅极间隔件结构具有与所述第三栅极间隔件结构相同的厚度。
4.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二栅极间隔件结构相对于所述第一栅极间隔件结构具有至少一种不同的材料。
5.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二栅极间隔件结构具有与所述第一栅极间隔件结构不同数量的间隔件层。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一栅极间隔件结构具有第一厚度，所述第二栅极间隔件结构具有第二厚度，并且所述第三栅极间隔件结构具有第三厚度，并且其中所述第一厚度和所述第二厚度大于所述第三厚度。
7.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一栅极间隔件结构具有第一厚度，并且所述第三栅极间隔件结构具有第三厚度，并且其中所述第一厚度比所述第三厚度大百分之二十至百分之三十。
8.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一栅极间隔件结构包括与所述第二栅极间隔件结构和所述第三栅极间隔件结构相同的材料。
9.根据权利要求1所述的装置，其中所述第三栅极间隔件结构的外间隔件层比所述第一栅极间隔件结构的外间隔件层薄。
10.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一栅极间隔件结构比所述第三栅极间隔件结构多包括至少一个附加间隔件层。
11.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二栅极间隔件结构比所述第三栅极间隔件结构多包括至少一个附加间隔件层。
12.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一栅极间隔件结构、所述第二栅极间隔件结构和所述第三栅极间隔件结构包括氮化硅、二氧化硅、硼化硅、碳化硅、氮氧化物或它们的组合中的至少一者。
13.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个sram晶体管、所述一个或多个逻辑标称晶体管和所述一个或多个逻辑栅极偏置晶体管是三维晶体管(3d晶体管)。
14.根据权利要求13所述的装置，其中所述3d晶体管是finfet、纳米片、纳米线或竖直fet中的至少一者。
15.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个sram晶体管各自具有第一栅极长度，所述一个或多个逻辑标称晶体管各自具有第二栅极长度，并且所述一个或多个逻辑栅极偏置晶体管各自具有第三栅极长度，并且其中所述第三栅极长度大于所述第一栅极长度和所述第二栅极长度。
16.根据权利要求15所述的装置，其中所述第三栅极长度比所述第一栅极长度大小于三纳米。
17.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个sram晶体管各自具有第一栅极到栅极间隔，所述一个或多个逻辑标称晶体管各自具有第二栅极到栅极间隔，并且所述一个或多个逻辑栅极偏置晶体管各自具有第三栅极到栅极间隔，并且其中所述第三栅极到栅极间隔小于所述第一栅极到栅极间隔和所述第二栅极到栅极间隔。
18.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置选自由以下项组成的组：音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航设备、通信设备、移动设备、移动电话、智能电话、个人数字助理、固定位置终端、平板计算...
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