TOPCon太阳能电池及其制造方法技术

本申请涉及一种TOPCon太阳能电池制造方法，首先对原始基底进行清洗与制绒处理，随后进行背面抛光和扩散工艺，以优化基底的光吸收和电学性能。在多层薄膜沉积阶段，采用等离子体增强化学气相沉积技术，在同一设备及步骤中同步形成第一介质层、第二介质层、第一导电掺杂层和第二导电掺杂层，提高生产效率。此外，在沉积各层之前，于基底侧面先形成一层氧化物层，作为激光刻蚀的起点，确保正面钝化接触层的精确图案化。最后，在正面刻蚀完成后，沉积氧化铝钝化层，并在基底正反面同时沉积钝化减反层，以增强电池的光学性能、表面保护能力和长期稳定性。本申请的制造方法不仅简化工艺流程，还显著提升TOPCon太阳能电池的整体性能。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及太阳能电池，尤其涉及一种topcon太阳能电池及其制造方法。

技术介绍

1、topcon（隧穿氧化层钝化接触，tunnel oxide passivated contact）太阳能电池技术是一种先进的光伏晶硅电池技术，最早由德国fraunhofer太阳能研究所在2013年提出，并于近年来得到了快速发展。该技术基于选择性载流子原理，通过在n型硅衬底电池的背面制备一层超薄的氧化硅层（1~2nm），再在其上沉积一层掺杂多晶硅层，形成钝化接触结构，从而有效降低表面复合和金属接触复合，提高太阳能电池的光电转换效率。topcon电池的理论极限效率高达28.7%，远高于传统perc电池的24.5%。目前，全面积电池的最高转化效率已达到25.4%，且量产效率已达25.2%，显示出巨大的提效潜力。

2、topcon电池具有较低的衰减率，首年衰减率约为1%，之后年均衰减率约为0.4%，远低于传统p型电池，提升了全生命周期的发电量，topcon电池的双面率可达80%以上，较perc电池的70%左右有明显提升，适合大基地项目使用，提高了光伏系统的整体发电效率本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种TOPCon太阳能电池，其特征在于，包括基底（100）、背面钝化接触层（200）、正面钝化接触层（300）；

2.根据权利要求1所述的TOPCon太阳能电池，其特征在于，所述第一介质层（210）、所述第二介质层（310）、所述第一导电掺杂层（220）和所述第二导电掺杂层（320）通过PECVD方式沉积而成。

3.根据权利要求2所述的TOPCon太阳能电池，其特征在于，所述第一保护覆盖层（230）与所述第二保护覆盖层（330）的材料不同。

4.根据权利要求3所述的TOPCon太阳能电池，其特征在于，所述第一保护覆盖层（230）的材料为氧化硅，所述...

【技术特征摘要】

1.一种topcon太阳能电池，其特征在于，包括基底（100）、背面钝化接触层（200）、正面钝化接触层（300）；

2.根据权利要求1所述的topcon太阳能电池，其特征在于，所述第一介质层（210）、所述第二介质层（310）、所述第一导电掺杂层（220）和所述第二导电掺杂层（320）通过pecvd方式沉积而成。

3.根据权利要求2所述的topcon太阳能电池，其特征在于，所述第一保护覆盖层（230）与所述第二保护覆盖层（330）的材料不同。

4.根据权利要求3所述的topcon太阳能电池，其特征在于，所述第一保护覆盖层（230）的材料为氧化硅，所述第二保护覆盖层（330）的材料为包括氧化硅、氧化铝的叠层结构。

5.根据权利要求1所述的topcon太阳能电池，其特征在于，所述基底（100）的正面为制绒表面，所述基底（100）的背面为制绒后经过抛光的表面，所述基底（100）的正面未被所述正面钝化接触层（300）覆盖的区域还包括氧化铝钝化层。

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【专利技术属性】
技术研发人员：钱洪强，周海龙，张俊巍，
申请(专利权)人：苏州腾晖光伏技术有限公司，
类型：发明
国别省市：