一种用于干涉仪的标准镜制造技术

本技术涉及一种用于干涉仪的标准镜，包括：从左到右依次设置的第一镜片、第二镜片、第三镜片、以及第四镜片；第一镜片的第一面为凸面，曲率在200～300mm之间，其通光口径为152.4mm；第一镜片的第二面为凸面，曲率在1400～1500mm之间，其通光口径为150.938mm；第二镜片的第一面为凹面，曲率在400～450mm之间，其通光口径为149.306mm；第二镜片的第二面为凸面，曲率在2600～2700mm之间，其通光口径为147.182mm；第三镜片的第一面为凸面，曲率在180～190mm之间，其通光口径为143.264mm；第三镜片的第二面为凹面，曲率在560～570mm之间，其通光口径为140.236mm；第四镜片的第一面为凸面，曲率在110～120mm之间，其通光口径为132.436mm；第四镜片的第二面为凹面，曲率为187mm，其通光口径为125mm；本技术的优点：提高了测量精度；且可得到比较理想的波前值。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学，尤其涉及一种用于干涉仪的标准镜。

技术介绍

1、在光学检测中，干涉仪在高精度检测上起到了不可或缺的作用，其中能实现高精度测量的关键部件就是标准镜，按照特定的光路和距离与被测件构成完整的测量系统，所以标准镜的设计决定了测量是否能达到高精度。目前而言，市面上的标准镜有很多不足之处，主要体现在测量时会出现类似于牛顿环似的干扰干涉，从而影响了测量精度。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本技术的目的是提供一种用于干涉仪的标准镜，用于实现高精度的干涉仪测量，以克服上述现有技术的不足。

2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：

3、一种用于干涉仪的标准镜，包括：从左到右依次设置的第一镜片、第二镜片、第三镜片、以及第四镜片；

4、所述第一镜片的第一面为凸面，曲率在200～300mm之间，其通光口径为152.4mm；

5、所述第一镜片的第二面为凸面，曲率在1400～1500mm之间，其通光口径为150.938mm；

6、所述第二镜片的第一面为凹面，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于干涉仪的标准镜，其特征在于，包括：从左到右依次设置的第一镜片、第二镜片、第三镜片、以及第四镜片；

2.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪的标准镜，其特征在于，所述第一镜片的口径为152.4mm。

3.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪的标准镜，其特征在于，所述第一镜片、第二镜片和第三镜片的材料均为H-K9L光学玻璃。

4.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪的标准镜，其特征在于，所述第四镜片的材料为康宁7980透镜。

5.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪的标准镜，其特征在于，所述标准镜的总RMS为0.0034，所述标准镜的总PV...

【技术特征摘要】

1.一种用于干涉仪的标准镜，其特征在于，包括：从左到右依次设置的第一镜片、第二镜片、第三镜片、以及第四镜片；

2.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪的标准镜，其特征在于，所述第一镜片的口径为152.4mm。

3.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪的标准镜，其特征在于，所述第一镜片、...

【专利技术属性】
技术研发人员：田伟，张双翼，
申请(专利权)人：长春盈捷光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：