【技术实现步骤摘要】
本技术涉及集成电路生产设备，尤其涉及一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手。
技术介绍
1、专利文献cn217822727u公开一种晶圆机械手，其包括控制底座、支撑盘、两第一连接臂、两第二连接臂、两第三连接臂、上夹臂、下夹臂，支撑盘设置在控制底座上，两第一连接臂的一端设置在支撑盘上，两第一连接臂的另一端各连接一第二连接臂的一端，两第二连接臂的另一端各连接两第三连接臂的一端，其中一第三连接臂连接上夹臂，另一第三连接臂连接下夹臂，上夹臂与下夹臂上下相对设置，用于夹取晶圆，上夹臂及下夹臂的一端皆为圆弧形结构，能够防止损坏晶圆、灵活性高。然而，这种晶圆取放机械手采用螺丝锁死的固定方式固定于双关节机械臂上，无法轻易移动，因为机械臂的位置需要确定原点等才能准确地完成取放晶圆的工作，不至于误撞到检测台、晶圆盒等，所以这种采用螺丝锁死固定的机械臂，只要发生故障或在调试过程中发生误撞，就有大概率导致整个机械手的原点发生偏移和改变，进而降低加工精度，影响生产效率，同时偏移后的重新调试过程具有一定的技术要求，会提高人力成本。因此，有必要对这种机械手进行结构优化，
【技术保护点】
1.一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，其特征在于，取片吸定机构包括：
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，其特征在于，回片吸定机构包括：
4.根据权利要求2所述的一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，其特征在于，取片吸定机构还包括：
5.根据权利要求3所述的一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，其特征在于，回片吸定机构还包括：
6.根据权利要求2所述的一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，其特征在于：
7.根据...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，其特征在于，取片吸定机构包括：
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，其特征在于，回片吸定机构包括：
4.根据权利要求2所述的一种用于晶圆取放的磁吸式双臂...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐鑫，
申请(专利权)人：嘉兴弘毅电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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