树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件技术

技术编号:43368576 阅读:16 留言:0更新日期:2024-11-19 17:50
一种树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件,该树脂组合物包含:含有由下述式(1)表示的重复单元及由下述式(2)表示的重复单元的聚酰亚胺前体、聚合性化合物及聚合引发剂。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件


技术介绍

1、如今,在各种领域中,正在利用由包含树脂的树脂组合物来制造的树脂材料的技术。

2、例如,聚酰亚胺由于耐热性及绝缘性等优异,因此应用于各种用途。作为上述用途,并不受特别限定,但若以安装用半导体器件为例,则可以举出作为绝缘膜、密封件的材料或保护膜的利用。并且,也可用作可挠性基板的基膜、覆盖层等。

3、例如,在上述的用途中,聚酰亚胺以含有聚酰亚胺前体的树脂组合物的形态被使用。

4、例如通过涂布等将此类树脂组合物应用于基材上形成感光膜,之后根据需要进行曝光、显影、加热等,由此能够在基材上形成固化物。

5、聚酰亚胺前体例如通过加热而被环化,在固化物中成为聚酰亚胺。

6、树脂组合物能够通过公知的涂布方法等应用,因此,可以说例如所应用的树脂组合物的应用时的形状、大小、应用位置等设计自由度高等制造上的适应性优异。从除了聚酰亚胺所具有的高性能以外,此类制造上的适应性也优异的观点出发,上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种树脂组合物,其包含:

2.根据权利要求1所述的树脂组合物,其中,

3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,

4.根据权利要求3所述的树脂组合物,其中,

5.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂组合物,其中,

6.根据权利要求1至5中任一项所述的树脂组合物,其中,

7.根据权利要求6所述的树脂组合物,其中,

8.根据权利要求6或7所述的树脂组合物,其中,

9.根据权利要求6至8中任一项所述的树脂组合物,其中,

10.根据权利要求1至9中任一项所述的树脂组合物,其中,...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种树脂组合物,其包含:

2.根据权利要求1所述的树脂组合物,其中,

3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,

4.根据权利要求3所述的树脂组合物,其中,

5.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂组合物,其中,

6.根据权利要求1至5中任一项所述的树脂组合物,其中,

7.根据权利要求6所述的树脂组合物,其中,

8.根据权利要求6或7所述的树脂组合物,其中,

9.根据权利要求6至8中任一项所述的树脂组合物,其中,

10.根据权利要求1至9中任一项所述的树脂组合物,其中,

11.根据权利要求1至10中任一项所述的树脂组合物,其含有具有选自由脲基、酰胺基及氨基甲酸酯基组成的组中的至少1种基团的化合物作为所述聚合性化合物。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的树脂组合物,其用于形成再配线层用层间绝缘膜。

13.一种固化物,其是使权利要求1至12中任一项所述的树脂组合物固化而成的。

14.一种层叠体,其包含2层以上的由权利要求13所述的固化物形成的层,且在由所述固化物形成的层任意层的彼此之间包...

【专利技术属性】
技术研发人员:野崎敦靖
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:

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