一种基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟-1,3-丁二烯的方法技术

本发明专利技术涉及六氟‑1,3‑丁二烯的制备方法，具体涉及一种基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟‑1,3‑丁二烯的方法。包括以下步骤，先通入N2气氛对催化剂进行除水活化，升温后关闭N2气氛，通入1,1,2,3,3‑五氟丙烯与二氟一氯甲烷进行常压催化反应，生成六氟‑1,3‑丁二烯。本发明专利技术将高ODP值(消耗臭氧潜能值)的二氟一氯甲烷与低附加值的1,1,2,3,3‑五氟丙烯共裂解，一步生成具有高附加值的特种气体六氟‑1,3‑丁二烯，该制备方法工艺简单、原料成本低、产物选择性高，具有极佳的工业应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及六氟-1,3-丁二烯的制备方法，具体涉及一种基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟-1,3-丁二烯的方法。

技术介绍

1、六氟丁二烯(又称全氟丁二烯)是一种具有双键的完全氟化的化合物，分子式c4f6，相对分子质量162，气相相对空气密度6.79，熔点-132℃，沸点6℃，临界温度140℃，燃烧体积分数7％～73％，全球温室效应潜能值gwp(100)为290，大气寿命为小于2d。c4f6主要应用于半导体产品的等离子蚀刻加工技术，在超大规模集成电路的干蚀刻中作为蚀刻气。c4f6在等离子介质蚀刻中表现出的优异性能，这与它在等离子蚀刻室中裂解生成的分子碎片有关。在蚀刻室的等离子区，c4f6分解成多种活性游离基、亚稳态粒子和原子，生成的大量活性氟原子与硅材料表面的硅原子结合生成挥发性气体。因此，c4f6是一种温室效应极低、绿色环保的高效蚀刻气体，是一种理想的可替代传统蚀刻气体的产品，具有良好的应用前景。

2、公开号为cn101432253a的中国专利技术专利公开了一种六氟-1，3-丁二烯的制造方法，具体方法为：先制备出1,2,3,4-四氯六氟丁本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟-1,3-丁二烯的方法，其特征在于，包括以下步骤，先通入N2气氛对催化剂进行除水活化，升温后关闭N2气氛，通入1,1,2,3,3-五氟丙烯与二氟一氯甲烷进行常压催化反应，生成六氟-1,3-丁二烯。

2.根据权利要求1所述的基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟-1,3-丁二烯的方法，其特征在于，所述催化剂为双金属硫酸盐氟化物催化剂。

3.根据权利要求2所述的基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟-1,3-丁二烯的方法，其特征在于，所述双金属硫酸盐氟化物催化剂中的第一种金属为Ba、Sr、Ca和Mg中的任意一种，第二种金属为Cr、Al...

【技术特征摘要】

1.一种基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟-1,3-丁二烯的方法，其特征在于，包括以下步骤，先通入n2气氛对催化剂进行除水活化，升温后关闭n2气氛，通入1,1,2,3,3-五氟丙烯与二氟一氯甲烷进行常压催化反应，生成六氟-1,3-丁二烯。

2.根据权利要求1所述的基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟-1,3-丁二烯的方法，其特征在于，所述催化剂为双金属硫酸盐氟化物催化剂。

3.根据权利要求2所述的基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟-1,3-丁二烯的方法，其特征在于，所述双金属硫酸盐氟化物催化剂中的第一种金属为ba、sr、ca和mg中的任意一种，第二种金属为cr、al、ni、zr中的任意一种。

4.根据权利要求3所述的基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟-1,3-丁二烯的方法，其特征在于，所述双金属硫酸盐氟化物催化剂中第一种金属和第二种金属的摩尔比为1:1～10:1。

5.根据权利要求2所述的基于共裂解脱卤化氢策略一步制备六氟-1,3-丁二烯的方法，其特征在于，所述双金属硫酸盐氟化物催化剂的制备方法为：将第一种金属的金属盐前驱体和第二种金属的金属盐前驱体溶...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓韬，贲志山，孙文定，
申请(专利权)人：湖北广钢气体电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：