感光性树脂组合物、感光性树脂组合物膜、固化物、使用它们的电子元件制造技术

本发明专利技术提供具有优异的图案加工性、固化物的耐压性(弹性模量)优异的感光性树脂组合物。该感光性树脂组合物含有(A)聚酰亚胺、(B)阳离子聚合性化合物、(C)光阳离子聚合引发剂及(D)结晶性二氧化硅，且具有负型感光性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及感光性树脂组合物、感光性树脂组合物膜、固化物、使用它们的电子元件。更详细而言，涉及适合用作声表面波(saw：surface acoustic wave)滤波器、体声波(baw：bulk acorstic wave)滤波器等高频滤波器的中空结构体的屋顶材料的感光性树脂组合物。

技术介绍

1、感光性树脂组合物可通过光刻技术进行微细加工，因此被广泛用作布线基板的绝缘膜。而且，对于将感光性树脂组合物成型为膜状的材料而言，有效利用其膜状特征，正越来越多地应用于形成电子元件的中空结构体的屋顶材料的用途。近年来，对于形成中空结构体的屋顶的感光性树脂组合物膜，需要具有用于形成微细通孔的图案加工性、可耐受密封工序的耐压性。

2、为了提高耐压性，已提出了添加无机填料来提高弹性模量的方法，其中，专利文献1中提出的添加折射率与感光性树脂组合物匹配的玻璃填料的技术，除了通过添加填料来提高耐压性以外，还有望抑制曝光中所使用光的散射，并能够兼顾图案加工性。

3、另外，为了提高分辨率，已提出了利用化学放大型的光阳离子聚合体系形成图案的方法，其中专利文本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种感光性树脂组合物，其包含(A)聚酰亚胺、(B)阳离子聚合性化合物、(C)光阳离子聚合引发剂及(D)结晶性二氧化硅，并且具有负型感光性。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(A)聚酰亚胺在主链中具有脂环结构。

3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，所述(A)聚酰亚胺具有源自脂环式四羧酸二酐的结构。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，将所述(A)聚酰亚胺与所述(B)阳离子聚合性化合物的总量设定为100质量％时，所述(B)阳离子聚合性化合物的含量为30～70质量％。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，将所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种感光性树脂组合物，其包含(a)聚酰亚胺、(b)阳离子聚合性化合物、(c)光阳离子聚合引发剂及(d)结晶性二氧化硅，并且具有负型感光性。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(a)聚酰亚胺在主链中具有脂环结构。

3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，所述(a)聚酰亚胺具有源自脂环式四羧酸二酐的结构。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，将所述(a)聚酰亚胺与所述(b)阳离子聚合性化合物的总量设定为100质量％时，所述(b)阳离子聚合性化合物的含量为30～70质量％。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，将所述(b)阳离子聚合性化合物的总量设定为100质量％时，作为脂肪族化合物的(b)阳离子聚合性化合物的含量为60质量％以上。

6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(d)结晶性二氧化硅的平均粒径为0.1～3.0μm。

7.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(d)结晶性二氧化硅的最大粒径为0.5～9.0μm。

8.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，将所述感光性树脂组合物的固形物总质量设定为100质量％时，所述(d)结晶性二氧化硅的含量为30～80质量％。

9.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(d)结晶性二氧化硅通过硅烷偶...

【专利技术属性】
技术研发人员：桂田悠基，泷口步实，金森大典，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：