【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学检测，具体涉及一种大陡度光学元件表面面形的测量方法。
技术介绍
1、大陡度光学元件作为一类特殊的非球面光学元件，被广泛应用于武器系统、高性能光学系统、航空航天等多个领域。如高陡度光学元件共形整流罩可以大幅降低导弹的飞行阻力，同时改善周围的空气流场，减小高速摩擦产生的热量，从而提高飞行速度、提高命中精度。
2、与常规光学元件相比，大陡度光学元件最为显著的特点是具有大高径比，即纵向高度l与口径d的比值较大，所以导致其纵向截面轮廓的陡度较大，往往超过70°，甚至达到90°。同时，对于这类高陡度光学元件的表面面形精度要求已达到亚微米级水平，为保证其制造精度与使役性能，需要对其面形精度进行高精度测量。
3、对于高陡度光学表面面形的测量方式，目前主要分为接触式测量与非接触式测量两大类。接触式测量方法主要基于高精度的测量设备，利用探针在被测量表面进行接触式打点采样。接触式测量由于测量时需对被测表面施加一定的接触压力，因此易对表面产生损伤，且测量效率较低。非接触式测量方法中除单点扫描法以外的方法均存在标定过程复...
【技术保护点】
1.一种大陡度光学元件表面面形的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的大陡度光学元件表面面形的测量方法，其特征在于，每个反射镜最小长度尺寸L为：
3.根据权利要求2所述的大陡度光学元件表面面形的测量方法，其特征在于，所述反射镜组包括5个反射镜，倾角φ依次为90°、80°、70°、60°、50°，传感器下方测量曲面的斜率范围为[0°，90°]。
4.根据权利要求3所述的大陡度光学元件表面面形的测量方法，其特征在于，被测面母线分为[0°，10°]、[10°，30°]、[30°，50°]、[50°，70°]、[70...
【技术特征摘要】
1.一种大陡度光学元件表面面形的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的大陡度光学元件表面面形的测量方法，其特征在于，每个反射镜最小长度尺寸l为：
3.根据权利要求2所述的大陡度光学元件表面面形的测量方法，其特征在于，所述反射镜组包括5个反射镜，倾角φ依次为90°、80°、70°、60°、50°，传感器下方测量曲面的斜率范围为[0°，90°]。
4.根据权利要求3所述的大陡度光学元件表面面形的测量方法，其特征在于，被测面母线分为[0°，10°]、[10°，30°]、[30°，50°]、[50°，70°]、[70°，90°]五个区域。
5.根据权利要求4所述...
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