【技术实现步骤摘要】
本申请涉及材料退火领域，尤其涉及一种碲镉汞闭管退火装置。
技术介绍
1、碲镉汞是制备高性能红外焦平面器件的重要材料基础，提升其晶格质量对新一代红外探测器件的发展具有重要意义。在常规的分子束外延工艺中，碲镉汞通常生长于异质衬底，不同材料间高的晶格失配率最终导致外延得到的碲镉汞具有高的位错密度。此种位于材料内部的位错将会形成陷阱中心和复合中心，进而影响探测器的载流子少子寿命和迁移率，增大暗电流。对碲镉汞进行退火处理能够有效降低碲镉汞位错密度，达到改善晶格质量的效果。进一步，在提升材料质量后，退火还可用于实现基于碲镉汞的复杂异质结结构设计，通过调整退火温度及周期实现掺杂材料的激活。
2、目前，主要采用退火的方式进行碲镉汞降位错。在闭管退火工艺中，为确保汞源与碲镉汞样品间足够的温度差，防止汞在碲镉汞样品表面发生冷凝从而影响材料质量，需将碲镉汞与汞源间隔一定距离放置。现有的碲镉汞退火装置只能实现单次单片退火，周期过长，成本较高。且划成小片的碲镉汞材料平行于退火管放置的方式不适用于大尺寸的整片碲镉汞材料退火。由于整片碲镉汞材料具有更大直...
【技术保护点】
1.一种碲镉汞闭管退火装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种碲镉汞闭管退火装置，其特征在于，所述滑轨模块的主体结构为镂空无底板的类长方体框架，所述类长方体框架的底部与退火炉膛中的石英管内壁接触。
3.根据权利要求1所述的一种碲镉汞闭管退火装置，其特征在于，所述滑轨凹槽，包括第一滑轨凹槽和第二滑轨凹槽，首尾贯通设置于所述类长方体框架的目标位置。
4.根据权利要求1所述的一种碲镉汞闭管退火装置，其特征在于，所述滑轮模块的长度大于预设长度阈值，其中，所述预设长度阈值为目标数量的托车的长度求和对应的长度。
5.根...
【技术特征摘要】
1.一种碲镉汞闭管退火装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种碲镉汞闭管退火装置，其特征在于，所述滑轨模块的主体结构为镂空无底板的类长方体框架，所述类长方体框架的底部与退火炉膛中的石英管内壁接触。
3.根据权利要求1所述的一种碲镉汞闭管退火装置，其特征在于，所述滑轨凹槽，包括第一滑轨凹槽和第二滑轨凹槽，首尾贯通设置于所述类长方体框架的目标位置。
4.根据权利要求1所述的一种碲镉汞闭管退火装置，其特征在于，所述滑轮模块的长度大于预设长度阈值，其中，所述预设长度阈值为目标数量的托车的长度求和对应的长度。
5.根据权利要求1所述的一种碲镉汞闭管退火装置，其特征在于，所述曲面底板的深度大于第...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜梦佳，王丹，折伟林，邢伟荣，李震，周睿，管崇尚，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十一研究所，
类型：发明
国别省市：
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