【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于太阳能光伏电池生产设备领域,更具体地说,是涉及一种立式热处理设备。
技术介绍
1、随着全球对可再生能源需求的不断增加,太阳能光伏产业得到了快速发展。其中,立式炉体设备可以实现对硅片进行特定的镀膜、扩散、氧化和薄膜沉积等工艺。
2、在现有的立式炉体中,通常采用单个传输装置直接传动的方式对立式舟进行传输和吊装。例如专利文献cn114203611 a中,由一个石英舟取放装置用于带动石英舟在缓存架、反应腔室和翻舟装置之间进行转移;具体而言,石英舟取放装置包括移动轨道组件、机械手和夹取组件,夹取组件与机械手相连,机械手安装在移动轨道组件上,移动轨道组件用于带动机械手沿移动轨道组件来回移动以实现带动石英舟在缓存架、反应腔和翻舟装置之间进行转移,夹取组件用于实现夹紧石英舟。该方式传输行程长,使装置长时间进行承载作业导致其变形,同时长行程也对设备空间提出了较高的要求,对工作人员的操作维护带来了极大的不便性。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种立式热处理设备,实现分段式
...【技术保护点】
1.一种立式热处理设备,其特征在于,包括:立式炉体、暂存冷却部和分段式上下料结构;其中,所述分段式上下料结构具有第一段传输装置和第二段传输装置;
2.如权利要求1所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第一段传输装置包括:
3.如权利要求1或2所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第二段传输装置包括:
4.如权利要求1所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第一段传输装置包括:
5.如权利要求4所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第一级传输部件包括:
6.如权利要求5所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第二级
...【技术特征摘要】
1.一种立式热处理设备,其特征在于,包括:立式炉体、暂存冷却部和分段式上下料结构;其中,所述分段式上下料结构具有第一段传输装置和第二段传输装置;
2.如权利要求1所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第一段传输装置包括:
3.如权利要求1或2所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第二段传输装置包括:
4.如权利要求1所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第一段传输装置包括:
5.如权利要求4所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第一级传输部件包括:
6.如权利要求5所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第二级传输部件包括:
7.如权利要求4-6任一项所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员:谭惊电,邓金生,罗宾,彭亚萍,
申请(专利权)人:常州捷佳创精密机械有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。