【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及减压装置，尤其涉及一种轴流式双级安全减压装置。
技术介绍
1、伴随着集成电路、光伏制造等行业的高速发展，以电子特气、混氢电子特气为代表的高纯气体产业发展迅猛、市场前景广阔。电子特气/混氢电子特气从生产到使用需要经历充装、运输、贮存等中间过程，且上述气体存在腐蚀性、生物毒性和环境污染风险，因此一种具备后端截止功能的防泄露安全减压装置就成了电子特气安全运输、存储、使用的关键。
2、高纯气体行业对气体管路、阀门和减压装置有着非常高的洁净度要求；电子特气/混氢电子特气还要求气体减压装置具有较强的耐腐蚀性、可靠的防泄漏功能；考虑到电子特气气瓶瓶口大小，要求气体减压装置结构应尽量紧凑以最大限度简化容器加工程序。此外，考虑到半导体行业电子特气的实际使用工况，还要求气体减压装置具有超长的寿命、级高的稳定性、能够长时间以恒定压力流量输出减压后的气体。
3、现有气体减压装置大都存在通用性差、可靠性不高、耐腐蚀性弱和结构复杂等问题，难以适应高纯气体行业的使用需求。
技术实现思路
...【技术保护点】
1.一种轴流式双级安全减压装置，其特征在于，包括呈轴流式连通的一级减压阀和二级减压阀；
2.根据权利要求1所述的一种轴流式双级安全减压装置，其特征在于，所述二级上封头上还设置有二级密封盖。
3.根据权利要求2所述的一种轴流式双级安全减压装置，其特征在于，所述二级密封盖与所述二级上封头之间设置有二级密封圈。
4.根据权利要求3所述的一种轴流式双级安全减压装置，其特征在于，所述二级密封圈为O型密封圈。
5.根据权利要求1所述的一种轴流式双级安全减压装置，其特征在于，所述双级安全减压装置与所述介质接触处采用电抛光处理。
...【技术特征摘要】
1.一种轴流式双级安全减压装置，其特征在于，包括呈轴流式连通的一级减压阀和二级减压阀；
2.根据权利要求1所述的一种轴流式双级安全减压装置，其特征在于，所述二级上封头上还设置有二级密封盖。
3.根据权利要求2所述的一种轴流式双级安全减压装置，其特征在于，所述二级密封盖与所述二级上封头之间设置有二级密封圈。
4.根据权利要求3所述的一种轴流式双...
【专利技术属性】
技术研发人员：封学智，陈伟，王莆森，岳乙恒，罗全彪，郭晓东，王兴，刘佳兴，李平，黄闽川，徐斌，张辉，范学振，邱凡，孔云龙，
申请(专利权)人：中核陕西铀浓缩有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。