【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及有源驱动电路，特别涉及一种应用于mems振荡器电路的全差分mems有源驱动电路。
技术介绍
1、时钟器件是所有电子产品的基础元器件。近年来，随着科学技术的不断进步，得到快速发展的5g和6g通信、武器装备等领域对高稳定性时钟器件提出了更高要求，例如：高振动冲击环境下的高稳定性、低功耗、小体积、高可靠性和可集成性等。但是，当前的主流时钟产品，石英晶振，因材料性能和制作技术的限制，在满足这些性能要求方面存在难以克服的技术瓶颈。硅基mems时钟是由鲁棒性更强的硅基mems谐振器和cmos有源驱动电路集成制造的mems振荡器，是对传统石英晶振的更新换代。相比与从传统石英晶振，mems振荡器具有体积小、低功耗和高稳定性的优点。mems谐振器和有源驱动电路是组成mems振荡器的两个必不可少的模块，其中驱动电路决定了mems振荡器能否正常输出稳定的振荡信号，其性能至关重要。
2、mems有源驱动电路被分为两个模块，分别是输入级的跨阻放大器电路和电压放大级。在现有技术当中，跨阻放大器电路主要连接mems谐振器的输出端和电压放大级...
【技术保护点】
1.一种应用于MEMS振荡器电路的全差分MEMS有源驱动电路，其特征在于，包括：跨阻放大器电路，可变相位放大器电路，可变增益放大器电路和输出缓冲电路；
2.根据权利要求1所述的应用于MEMS振荡器电路的全差分MEMS有源驱动电路，其特征在于，将产生两个大小相等，方向相反的交流电压信号Vin1和Vin2施加到MEMS谐振器的输入电极D+和D-，在两个交流电压信号的激励下，MEMS谐振器的输出电极S+和S-感应产生两个大小相等，方向相反的交流激励电流Iout1和Iout2，两个交流激励电流Iout1和Iout2输入到所述跨阻放大器电路的输入端。
3...
【技术特征摘要】
1.一种应用于mems振荡器电路的全差分mems有源驱动电路，其特征在于，包括：跨阻放大器电路，可变相位放大器电路，可变增益放大器电路和输出缓冲电路；
2.根据权利要求1所述的应用于mems振荡器电路的全差分mems有源驱动电路，其特征在于，将产生两个大小相等，方向相反的交流电压信号vin1和vin2施加到mems谐振器的输入电极d+和d-，在两个交流电压信号的激励下，mems谐振器的输出电极s+和s-感应产生两个大小相等，方向相反的交流激励电流iout1和iout2，两个交流激励电流iout1和iout2输入到所述跨阻放大器电路的输入端。
3.根据权利要求2所述的应用于mems振荡器电路的全差分mems有源驱动电路，其特征在于，所述跨阻放大器电路为两个结构对称的带有共源反馈的调节型共源共栅结构，用于分别处理mems谐振器的两个电流信号iout1和iout2，处理电流信号iout1的电路具体包括：共源放大器m2的栅极和漏极与共栅放大器m1的源极和栅极相连，组成调节型共源共栅结构，由共源放大器m3，镜像管m4和负载管m5组成电流镜，共源放大器m3管的栅极和漏极分别与调节型共源共栅结构的输出端和输入端相连，形成共源反馈，偏置电流ib1和ib2由带隙基准和电流镜提供。
4.根据权利要求3所述的应用于mems振荡器电路的全差分mems有源驱动电路，其特征在于，所述可变相位放大器电路为两个结构对称的交流推挽放大器的结构，用于接收所述跨阻放大器电路输出的两路输出信号，放大管m11和放大管m12，放大管...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐路，肖涛，陈贝宁，唐旭升，张有明，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。