【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材烧结,特别是涉及一种用于旋转靶材烧结成型支撑板定位及底料铺设装置。
技术介绍
1、ito靶材广泛应用于液晶显示器、触摸屏、oled屏、薄膜太阳能电池、功能性玻璃、红外线反射玻璃等领域。在对ito旋转靶材进行烧结的过程中,需要将冷等静压成型后的靶材放置于气氛烧结炉中进行烧结,旋转靶材在放入烧结炉时需要放置在支撑板上并在支撑板上铺设一层底料,之后将对应的圆环形支撑放置于铺设的底料上,在圆环形支撑上再撒一层底料,最后放置旋转靶材。
2、为确保靶材不发生开裂等缺陷,摆放的支撑板之间要求具有一定间隙,对靶材起到更好的支撑作用,底料的铺设范围也有特定要求。目前支撑板的摆放以及底料的铺设主要依赖于人工,由于人工手动摆放支撑板会导致支撑板之间的间隙无法保持统一,影响旋转靶材的质量,其次,在进行底料铺设的过程中无法精确判断底料的铺设范围,容易造成底料浪费,生产效率较低。
技术实现思路
1、本技术的目的是:提供一种用于旋转靶材烧结成型支撑板定位及底料铺设装置,可对支撑板摆放实现快速定
...【技术保护点】
1.一种用于旋转靶材烧结成型支撑板定位及底料铺设装置,其特征在于:包括十字支架、第一筒体以及第二筒体,所述十字支架周向设有四个用于支撑板安装的定位区,所述第一筒体、所述第二筒体底部与所述十字支架固定,所述第二筒体和所述第一筒体同轴设置且套设在所述第一筒体内,所述第一筒体内壁与所述第二筒体外壁间形成用于底料铺设的落料腔。
2.如权利要求1所述的用于旋转靶材烧结成型支撑板定位及底料铺设装置,其特征在于:所述第一筒体上下两端开口,且所述第一筒体的上端面沿径向斜向上延伸形成接料部,所述第二筒体下端开口、上端封闭,所述第二筒体上端侧壁设有导料面。
3.如
...【技术特征摘要】
1.一种用于旋转靶材烧结成型支撑板定位及底料铺设装置,其特征在于:包括十字支架、第一筒体以及第二筒体,所述十字支架周向设有四个用于支撑板安装的定位区,所述第一筒体、所述第二筒体底部与所述十字支架固定,所述第二筒体和所述第一筒体同轴设置且套设在所述第一筒体内,所述第一筒体内壁与所述第二筒体外壁间形成用于底料铺设的落料腔。
2.如权利要求1所述的用于旋转靶材烧结成型支撑板定位及底料铺设装置,其特征在于:所述第一筒体上下两端开口,且所述第一筒体的上端面沿径向斜向上延伸形成接料部,所述第二筒体下端开口、上端封闭,所述第二筒体上端侧壁设有导料面。
3.如权利要求2所述的用于旋转靶材烧结成型支撑板定位及底料铺设装置,其特征在于:所述第二筒体上端设有拉手。
4.如权利要求1所述的用于旋转靶材烧结成型支撑板定位及底料铺设装置,其特征在于:所述十字支架包括第一管体和第二管体,所述第一管体的两侧对称设有所述第二管体,所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈昊鑫,吕过,武前争,韩新涛,
申请(专利权)人:先导薄膜材料淄博有限公司,
类型:新型
国别省市:
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