一种空间滤波装置及其制备方法制造方法及图纸

本申请提供一种空间滤波装置及其制备方法，该空间滤波装置包括第一隔层、第一微纳光学结构、第二隔层、第二微纳光学结构以及滤光层。通过第一微纳光学结构对入射光束进行聚焦，第一隔层将聚焦后的光束传播到滤光层的透光孔处，透光孔对光束进行滤波，第二隔层对经过透光孔滤波后的光束进行发散传播至第二微纳光学结构处进行准直，输出出射光束。第一微纳光学结构、滤光层以及第二微纳光学结构可以使得空间滤波装置的滤波精度更高；且由于微纳光学结构较小，可以将通过微纳光学结构组成的空间滤波装置小型化，使得空间滤波装置结构固化、体积缩小，提高了空间滤波装置的稳定性和便捷性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及空间滤波装置，尤其涉及一种空间滤波装置及其制备方法。

技术介绍

1、通常激光器输出的光束质量、光斑形状会受到激光器制作工艺的影响，因此必须进一步采用空间滤波器将激光器输出的光束进行聚焦过滤，滤除掉其中的高频噪声成分。然后再用一个透镜做准直扩束，得到高质量的准直光束。

2、目前的空间滤波装置通常由分离的汇聚物镜、针孔、准直透镜组成。受限于透镜本身的厚度、焦距、工作距离等因素，及针孔漂移的影响，整个系统必须通过机械结构固定到一起，体积庞大。并且随着时间增加，系统的稳定性也会变得更差，滤波效果逐步降低。如果针对短波长光源，或光斑半径小的激光束，目前的透镜元件、针孔尺寸无法连续调节其参数，从而导致滤波效果进一步下降。

3、因此，如何提高空间滤波装置的系统稳定性成为目前亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请提供了一种空间滤波装置及其制备方法，旨在提高空间滤波装置的系统稳定性。

2、第一方面，本申请提供一种空间滤波装置，所述空间滤波装置包括：>

3、第一隔层本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种空间滤波装置，其特征在于，所述空间滤波装置包括：

2.根据权利要求1所述的空间滤波装置，其特征在于，所述第一隔层的厚度小于所述第二隔层的厚度。

3.根据权利要求2所述的空间滤波装置，其特征在于，所述第一隔层的厚度与所述第一微纳光学结构的焦距相等，所述第二隔层的厚度与所述第二微纳光学结构的焦距相等。

4.根据权利要求1所述的空间滤波装置，其特征在于，所述第一隔层的第一侧面设有第一介质层，所述第一微纳光学结构形成在所述第一介质层上；所述第二隔层的第二侧面设有第二介质层，所述第二微纳光学结构形成在所述第二介质层上。

5.根据权利要求4所述...

【技术特征摘要】

1.一种空间滤波装置，其特征在于，所述空间滤波装置包括：

2.根据权利要求1所述的空间滤波装置，其特征在于，所述第一隔层的厚度小于所述第二隔层的厚度。

3.根据权利要求2所述的空间滤波装置，其特征在于，所述第一隔层的厚度与所述第一微纳光学结构的焦距相等，所述第二隔层的厚度与所述第二微纳光学结构的焦距相等。

4.根据权利要求1所述的空间滤波装置，其特征在于，所述第一隔层的第一侧面设有第一介质层，所述第一微纳光学结构形成在所述第一介质层上；所述第二隔层的第二侧面设有第二介质层，所述第二微纳光学结构形成在所述第二介质层上。

5.根据权利要求4所述的空间滤波装置，其特征在于，所述第一介质层和所述滤光层通过间隔物间隔形成间隔层，所述间隔层构成所述第一隔层。

6.根据权利要求1所述的空间滤波...

【专利技术属性】
技术研发人员：马国庆，兰富洋，关健，王兆民，
申请(专利权)人：珠海莫界科技有限公司，
类型：发明
国别省市：