【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于废气处理，尤其涉及一种反应腔及工艺废气处理系统。
技术介绍
1、电加热式工艺废气处理系统主要应用于半导体行业废气处理，其工作原理为通过电阻式加热棒对反应腔的废气进行加热反应分解。
2、但是，受到加热棒的结构和材质限制，此种工艺废气处理设备的加热温度及加热速度受限，大大影响工艺废气的处理效率。
技术实现思路
1、鉴于以上分析，本专利技术旨在提供一种反应腔及工艺废气处理系统，解决了现有技术中电加热式工艺废气处理系统加热温度较低、加热速度较慢导致工艺废气的处理效率低的问题。
2、本专利技术的目的主要是通过以下技术方案实现的：
3、本专利技术提供了一种反应腔，包括腔体以及设于腔体内的至少一个电磁涡流加热管和至少一个冷却风通道，电磁涡流加热管包括废气管以及缠绕于废气管外壁的导电线圈。
4、进一步地，腔体包括内腔以及套设于内腔外的冷却夹层，废气管位于内腔中，冷却风通道与内腔的底壁具有缝隙，内腔上开设夹层进气孔，内腔通过夹层进气孔与冷却夹层连...
【技术保护点】
1.一种反应腔，其特征在于，包括腔体以及设于腔体内的至少一个电磁涡流加热管和至少一个冷却风通道，所述电磁涡流加热管包括废气管以及缠绕于废气管外壁的导电线圈。
2.根据权利要求1所述的反应腔，其特征在于，所述腔体包括内腔以及套设于内腔外的冷却夹层，所述废气管位于内腔中，所述冷却风通道与内腔的底壁具有缝隙，所述内腔上开设夹层进气孔，所述内腔通过夹层进气孔与冷却夹层连通，所述冷却夹层上开设夹层出气孔。
3.根据权利要求2所述的反应腔，其特征在于，所述内腔底壁开设废气出气孔，所述废气管与废气出气孔连通。
4.根据权利要求2或3所述的反应腔，...
【技术特征摘要】
1.一种反应腔，其特征在于，包括腔体以及设于腔体内的至少一个电磁涡流加热管和至少一个冷却风通道，所述电磁涡流加热管包括废气管以及缠绕于废气管外壁的导电线圈。
2.根据权利要求1所述的反应腔，其特征在于，所述腔体包括内腔以及套设于内腔外的冷却夹层，所述废气管位于内腔中，所述冷却风通道与内腔的底壁具有缝隙，所述内腔上开设夹层进气孔，所述内腔通过夹层进气孔与冷却夹层连通，所述冷却夹层上开设夹层出气孔。
3.根据权利要求2所述的反应腔，其特征在于，所述内腔底壁开设废气出气孔，所述废气管与废气出气孔连通。
4.根据权利要求2或3所述的反应腔，其特征在于，所述夹层进气孔位于内层的顶端，所述夹层出气孔位于冷却夹层的底端。
5.根据权利要求1所述的反应腔，其特征在于，还包括设于...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁宇，王福清，陈佳明，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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