【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光耦合三端双向交流开关器件制造，具体是一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法及其结构。
技术介绍
1、光耦合三端双向交流开关器件(photo triac,photo triode for alternatingcurrent)系一种开关器件，其结合了光耦合器和triac器件。光耦合器是一种使用光来电气隔离两个电路的电子元件。而triac一般是三端半导体器件，可用来控制交流电电流的流动。
2、photo triac的工作原理一般是透过光耦合器接收来自输入端的微小电流讯号，并将其转换为光讯号。其后光讯号被传输到triac的光敏闸极，从而开启triac的开关并允许交流电流流过输出端。
3、photo triac的主要优点之一是其可以提供电气隔离，透过这样的电器隔离可以避免输入端与输出端之间的直接电性连接，以防止噪声及过大电讯号造成的损坏等。而photo triac整体还具有尺寸较小、低功率消耗及高可靠性等之优势。
4、为了使photo triac正常运作，一般会在photo t...
【技术保护点】
1.一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，所述电阻层形成于所述光耦合三端双向交流开关器件半导体结构的一闸极之上，并且其中，所述电阻层为低参杂之多晶硅材料。
3.根据权利要求2所述的一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，其中：
5.根据权利要求1所述的一种具有限流电...
【技术特征摘要】
1.一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，所述电阻层形成于所述光耦合三端双向交流开关器件半导体结构的一闸极之上，并且其中，所述电阻层为低参杂之多晶硅材料。
3.根据权利要求2所述的一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，其中：
5.根据权利要求1所述的一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，所述电阻层形成于所述光耦合三端双向交流开关器件半导体结构的隔离层之上，并且其中，所述电阻层为低参杂之多晶硅材料。
6.根据权利要求5所述的一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求5所述的一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求1所述的一种具有限流电阻的光耦合三端双向交流开关器件的制造方法，其特征在于，所述电阻层以植入方式形成于所述光耦合三端双向交流开关器件半导体结构之中。
9.根据权利要求8所述的一种具有限流电...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡文钦，庄明琳，梁偉成，
申请(专利权)人：江苏艾倍思特光电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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