【技术实现步骤摘要】
本技术涉及导气板，尤其是静电吸盘机加工用正压导气板。
技术介绍
1、静电吸盘内部一些孔道是用来传输各类流体的，如冷却液、氦气等，需要保证其流通效果，因此吸盘在交付客户使用前，都需要确保这些孔道是无破损无污染的。
2、静电吸盘内部孔道复杂，细窄处很多，在机加工时，切削液、加工碎屑很容易进入孔道中造成污染，一些污渍残留在细窄处，在后道清洗工序借助物理冲洗、化学反应的手段也很难去除，具体如在机加工完毕后，通过压缩空气吹扫，高压去离子水冲洗等手段，去除静电吸盘内部孔道中的杂质。
3、为此，申请人予以改进。
技术实现思路
1、本技术针对现有技术中的不足，提供了静电吸盘机加工用正压导气板，解决了机加工过程中切削液和碎屑进入静电吸盘内部孔道造成污染的问题。
2、为解决上述技术问题，本技术通过下述技术方案得以解决：
3、静电吸盘机加工用正压导气板，包括导气板主体，所述导气板主体包括用于与静电吸盘相贴合的正面以及用于加工机台相贴合的反面；
4、所述...
【技术保护点】
1.静电吸盘机加工用正压导气板，其特征在于：包括导气板主体，所述导气板主体包括用于与静电吸盘相贴合的正面以及用于加工机台相贴合的反面；
2.根据权利要求1所述的静电吸盘机加工用正压导气板，其特征在于：所述导气板主体侧边布置有与所述出气孔流体连通的压缩空气快接插头。
3.根据权利要求2所述的静电吸盘机加工用正压导气板，其特征在于：所述导气板主体上开设有若干与所述出气孔流体连通的气体通道，所述气体通道外端开口开设于所述导气板主体的侧壁上，所述压缩空气快接插头安装于所述气体通道的外端开口处。
4.根据权利要求1所述的静电吸盘机加工用正压导...
【技术特征摘要】
1.静电吸盘机加工用正压导气板，其特征在于：包括导气板主体，所述导气板主体包括用于与静电吸盘相贴合的正面以及用于加工机台相贴合的反面；
2.根据权利要求1所述的静电吸盘机加工用正压导气板，其特征在于：所述导气板主体侧边布置有与所述出气孔流体连通的压缩空气快接插头。
3.根据权利要求2所述的静电吸盘机加工用正压导气板，其特征在于：所述导气板主体上开设有若干与所述出气孔流体连通的气体通道，所述气体通道外端开口开设于所述导气板主体的侧壁上，所述压缩空气快接插头安装于所述气体通道的外端开口处。
4.根据权利要求1所述的静电吸盘机加工用正压导气板，其特征在于：所述导气板主体上开设有若干第一螺栓孔，所述第一螺栓...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡明涛，马俊峰，朱顺存，任蔚康，周建伟，
申请(专利权)人：东阳市新纳精密陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：
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