一种高测温上限薄膜热电偶及其制备方法技术

一种高测温上限薄膜热电偶及其制备方法，属于薄膜热电偶领域，本发明专利技术选用半导体金属氧化物材料氧化铟锡和氧化铟作为薄膜热电偶敏感材料，将两种材料的纳米级微粒制成墨水通过喷墨打印的方式沉积在陶瓷平板表面，之后在烧结炉中初步烧结形成较为稳定的导电线路。再选用纳米级氧化铝和氧化钇稳定氧化锆微粒掺混制备成保护层墨水，再通过喷墨打印的方式沉积在已烧结的薄膜热电偶表面形成保护层，然后在烧结炉中再次高温烧结形成稳定的带保护层的薄膜热电偶。本发明专利技术有效提高了薄膜热电偶测温上限；本发明专利技术制备的薄膜热电偶结构简单、制备便捷，粘接性良好，可多次循环使用。本发明专利技术制备的薄膜热电偶可用于复杂曲面测温。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于薄膜热电偶，具体涉及一种高测温上限薄膜热电偶及其制备方法。

技术介绍

1、准确精细的温度测量是航空发动机、火箭发动机等先进高温机械部件设计、寿命预测、性能优化等方面的核心数据支撑。然而对于航空发动机这一高温高压高速的内流旋转机械，现有的各种测温方式如铠装热电偶测温、示温漆测温、辐射测温等均不同程度存在测试成本高、实验测点少、测量难度大、测温方式对物理场影响大等弊端。而薄膜热电偶测温凭借其微型化、非侵入、精度高、干扰小的优势脱颖而出。目前国内外传统的薄膜热电偶制备方式大多基于物理气相沉积(pvd)技术，需要经过高纯度靶材制备、掩膜、刻蚀，并用高能粒子轰击等方式将靶材蒸发沉积在测温目标上，整个流程工艺要求高、灵活性低、耗时长、不具备数字化特征，而且无法胜任航空发动机涡轮叶片等复杂高温部件表面的薄膜热电偶制备。而喷墨打印(ink-jetprinting)可以将功能材料纳米颗粒制成纳米墨水，通过喷墨打印装置沉积至目标基底表面制备薄膜热电偶，工艺简单加工灵活数字化程度高，但目前喷墨打印制备的薄膜热电偶在高温环境长时间工作时敏感层薄膜会发生烧蚀和挥发等现本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高测温上限薄膜热电偶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种高测温上限薄膜热电偶的制备方法，其特征在于，所述墨水溶剂由纯乙二醇和异丙醇按照质量比1:1的比例进行掺混制成。

3.根据权利要求1所述的一种高测温上限薄膜热电偶的制备方法，其特征在于，所述保护层宽于敏感层0.5-1.0mm。

4.根据权利要求1所述的一种高测温上限薄膜热电偶的制备方法，其特征在于，对打印基板进行预处理时，采用无水乙醇反复冲洗打印基板表面并用无尘纸单方向擦拭，直至打印基板表面干净无杂质。

5.根据权利要求1所述的一种高测温上限薄膜热...

【技术特征摘要】

1.一种高测温上限薄膜热电偶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种高测温上限薄膜热电偶的制备方法，其特征在于，所述墨水溶剂由纯乙二醇和异丙醇按照质量比1:1的比例进行掺混制成。

3.根据权利要求1所述的一种高测温上限薄膜热电偶的制备方法，其特征在于，所述保护层宽于敏感层0.5-1.0mm。

4.根据权利要求1所述的一种高测温上限薄膜热电偶的制备方法，其特征在于，对打印基板进行预处理时，采用无水乙醇反...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱璐，倪书之，朱剑琴，陶智，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：