一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，涉及杂质分离技术领域；包括：高压液化分离装置冷箱，高压液化分离装置冷箱内设置有一级气液分离器，一级气液分离器的输入端连接有激光气回收气输入管，一级气液分离器底部设置有冷凝杂质输出管；一级换热机构，一级换热机构设置于高压液化分离装置冷箱内，用于给激光气回收气输入管降温；一级粗氖输送管，一级粗氖输送管安装于一级气液分离器的输出端。本发明专利技术在螺旋管换热器进出口设置阻力测量仪表；当阻力有增大趋势时，控制模块通过第二电控阀使常温的回收气经过复热输送管进入螺旋管换热器，加热融化螺旋管换热器中凝固的固体，提高流速将淤堵的固体杂质吹离来确保工艺的连续性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及杂质分离，尤其涉及一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置。

技术介绍

1、氖气在科学研究、芯片、医学和高科技行业的用途，特别是随着芯片等行业的快速发展大量消耗。对氖气等特气需求量急剧增大，氖气是一种稀有气体，具有稳定的化学特征，不与其他元素发生反应，氖气不可再生性和不可替代性。氖气可用于产生氖气激光器，用于科学研究、医疗治疗和材料加工等领域。这种特征使得氦气成为高科技制造领域的重要元素之一。氖气与氪气或氖气与氩气、氙气按一定比例混合得到特定波长的激光气应用于芯片光刻机中。

2、目前中国使用的几乎所有氦气都来自于美国或中东、澳大利亚等其他国家。仅有少量的氖气来源于空气分离装置的下塔不凝气浓缩后进行氖氦分离得到纯氖气，由于大型空气分离设备带氖氦浓缩设备的稀缺，同时空气中的氖气含量仅18.18×10-6，含氖气99.9999％纯度的氖、氦分离工艺复杂，造成激光气供应成本高昂，光刻机在使用过程中氖气几乎没有损耗，通过回收再分离成为芯片厂的可选项。

3、光刻机的机台使用后的激光气中根据不同激光气品种，不仅富集了氖、氪、氙、氩还富集部本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，其特征在于，所述一级换热机构包括：

3.根据权利要求2所述的一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，其特征在于，所述二级换热机构包括：

4.根据权利要求1所述的一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，其特征在于，所述激光气回收气输入管(101)上串联有辅助降温器，辅助降温器包括：

5.根据权利要求4所述的一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，其特征在于，所述转辊(27)的两端均设置有环形连接座(25)，环形连接座(25)外侧安装有环...

【技术特征摘要】

1.一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，其特征在于，所述一级换热机构包括：

3.根据权利要求2所述的一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，其特征在于，所述二级换热机构包括：

4.根据权利要求1所述的一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，其特征在于，所述激光气回收气输入管(101)上串联有辅助降温器，辅助降温器包括：

5.根据权利要求4所述的一种激光气回收冷冻固体颗粒分离装置，其特征在于，所述转辊(27)的两端均设置有环形连接座(25)，环形连接座(25)外侧安装有环形室(21)，环形连接座(25)密封转动连接于环形室(21)内壁，冷源支管(14)安装于环形室(21)一侧外壁，冷源支管(14)通过环形室(21)和环形连接座(25)与各主冷源通道(26)相导通。

6...

【专利技术属性】
技术研发人员：周大荣，俞俊，
申请(专利权)人：上海启元气体发展有限公司，
类型：发明
国别省市：