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半球形金刚石窗口磨抛装置及其磨抛方法制造方法及图纸

技术编号:43303650 阅读:25 留言:0更新日期:2024-11-12 16:18
本发明专利技术提供了一种半球形金刚石窗口磨抛装置及其磨抛方法。该装置包括:旋转夹持机构,用于固定并控制所述被打磨物体进行转动;研磨颗粒输送机构,通过移动机构驱动,用于向被打磨物体的待打磨表面输送带电的研磨颗粒;电场发生组件,至少包括一移动电极,通过移动机构在待打磨区域产生远离或者靠近被打磨物体的待打磨表面的电场,通过电场驱动研磨颗粒输送至被打磨物体的待打磨表面,在被打磨物体的旋转运动下实现研磨。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于金刚石窗口材料制备领域,尤其涉及一种半球形金刚石窗口磨抛装置及其磨抛方法


技术介绍

1、金刚石以其卓越的物理特性,再多个领域展现出巨大的潜力。这种材料不仅能硬度极高,而且还拥有低摩擦系数和高耐磨性,使其再接触性应用中表现出色。金刚石的化学稳定性和高导热性也为其再高温环境下提供了保障。此外,金刚石高电阻和优异的透射率,使得金刚石电子和光学应用中备受青睐。正因如此,金刚石被广泛认为是推动未来科技发展的关键材料之一。

2、金刚石窗口材料往往要求表面必须平坦光滑,具有极高的面型精度和极低的粗糙度,保证接触面积足够广从而提高导热效果。目前金刚石的加工方法主要有机械抛光、热化学抛光、激光抛光、离子束抛光和磁研磨抛光等。

3、国内外相关科研机构运用上述打磨方法,展开了平面金刚石的抛光研究。而对于球面金刚石的抛光研究相对较少,而对应半球形抛光及应力监测装置更罕见。cn200510102769公开了一种能实现金刚石曲面抛光的抛光机,然而,在对金刚石窗口材料表面应力抛光过程中的监测,并无相关装置的专利。因此,提出并开发一种用于半球形金刚本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述移动机构包括:

3.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述旋转夹持机构包括:

4.根据权利要求1所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述研磨颗粒为铁颗粒、钴颗粒、镍颗粒中的一种或多种。

5.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述移动电极和所述随形电极之间的电压大小为12~48V。

6.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述研磨颗粒输...

【技术特征摘要】

1.一种半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述移动机构包括:

3.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述旋转夹持机构包括:

4.根据权利要求1所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述研磨颗粒为铁颗粒、钴颗粒、镍颗粒中的一种或多种。

5.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述移动电极和所述随形电极之间的电压大小为12~48v。

6.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘胜汪启军王志燊李照东郭宇铮吴改沈威东芳梁康
申请(专利权)人:武汉大学
类型:发明
国别省市:

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