【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于金刚石窗口材料制备领域,尤其涉及一种半球形金刚石窗口磨抛装置及其磨抛方法。
技术介绍
1、金刚石以其卓越的物理特性,再多个领域展现出巨大的潜力。这种材料不仅能硬度极高,而且还拥有低摩擦系数和高耐磨性,使其再接触性应用中表现出色。金刚石的化学稳定性和高导热性也为其再高温环境下提供了保障。此外,金刚石高电阻和优异的透射率,使得金刚石电子和光学应用中备受青睐。正因如此,金刚石被广泛认为是推动未来科技发展的关键材料之一。
2、金刚石窗口材料往往要求表面必须平坦光滑,具有极高的面型精度和极低的粗糙度,保证接触面积足够广从而提高导热效果。目前金刚石的加工方法主要有机械抛光、热化学抛光、激光抛光、离子束抛光和磁研磨抛光等。
3、国内外相关科研机构运用上述打磨方法,展开了平面金刚石的抛光研究。而对于球面金刚石的抛光研究相对较少,而对应半球形抛光及应力监测装置更罕见。cn200510102769公开了一种能实现金刚石曲面抛光的抛光机,然而,在对金刚石窗口材料表面应力抛光过程中的监测,并无相关装置的专利。因此,提出并开
...【技术保护点】
1.一种半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述移动机构包括:
3.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述旋转夹持机构包括:
4.根据权利要求1所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述研磨颗粒为铁颗粒、钴颗粒、镍颗粒中的一种或多种。
5.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述移动电极和所述随形电极之间的电压大小为12~48V。
6.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征
...【技术特征摘要】
1.一种半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述移动机构包括:
3.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述旋转夹持机构包括:
4.根据权利要求1所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述研磨颗粒为铁颗粒、钴颗粒、镍颗粒中的一种或多种。
5.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口磨抛装置,其特征在于,所述移动电极和所述随形电极之间的电压大小为12~48v。
6.根据权利要求2所述的半球形金刚石窗口...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘胜,汪启军,王志燊,李照东,郭宇铮,吴改,沈威,东芳,梁康,
申请(专利权)人:武汉大学,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。