【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻技术工艺装置领域，尤其涉及一种匀胶设备。
技术介绍
1、匀胶机是半导体芯片制造工艺中实现光刻工艺的设备中关键性的装置。光刻工艺可分为十步法:表面清洗烘干、涂增粘剂和涂光刻胶、软烘焙(前烘)、对准和曝光、显影、硬烘焙(后烘)、显影目检、刻蚀、光刻胶去除和最终目检。各个环节密切相关，每一个工步都会影响到图形转移和最终产品的质量。匀胶工步作为光刻工艺技术的首要关键环节，其优异的工作性能极其重要。
2、匀胶机有许多常用名称:甩胶机、涂胶机、涂层机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂膜仪等,主要应用于溶胶凝胶实验中的薄膜制作。总的来说，他们的原理就是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和芯片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度和时间有关。匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺,可在工矿企业、科研教育等单位作生产、科研、教学之用。
3、现有技术的匀胶机，存在着一些技术问题，譬如多个功能组件之间过于分散布置，不便于动作的连贯与流程化，譬如自动化程度较低，一个工作流程中只能对一个晶圆进行匀胶，工作效率低，不适用于批量化生产。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为克服现有技术存在的问题，提出一种匀胶设备，本装置的多个功能组件之间设置合理，便于动作的连贯与流程化，自动化程度更高，工作流程中能对多个晶圆进行匀胶，适用于批量化生产。
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3、一种匀胶设备，包括机架、功能组件、空气过滤装置和电控系统，所述空气过滤装置设在机架的上部，所述机架中设有支撑部，所述功能组件设在支撑部上，所述功能组件包括设在所述机架中的用于上料的物料转运存储装置、匀胶装置、烘焙装置、在三维空间中移动的机械手传送装置、用于下料的物料转运存储装置，所述电控系统包括带有电源的总控制器，所述机械手传送装置上设有取料臂移动组件，在所述机械手传送装置的带动下，所述取料臂移动组件对功能组件进行匀胶工艺过程的连通。
4、所述用于上料的物料转运存储装置与用于下料的物料转运存储装置结构相同，即用于上料的物料转运存储装置与用于下料的物料转运存储装置均为物料转运存储装置；
5、所述物料转运存储装置包括支撑台、第一驱动电机、升降组件，所述支撑台设在支撑部上，所述第一驱动电机、升降组件设在支撑台上，所述升降组件上设有托台，所述托台上设有晶片收纳壳体，所述第一驱动电机的动力输出端与升降组件连接，用于驱动升降组件带动托台移动；
6、所述支撑框架为支撑柱结构，支撑柱之间设有透明玻璃罩将所述支撑框架围合形成密闭空间；
7、所述机架的下部设有移动轮。
8、所述升降组件包括立置的半包围结构的支撑壳、丝杆、丝杆螺母、导向杆、支撑板以及托台，所述支撑壳设在支撑台上，所述支撑壳的上部设有壳盖，所述导向杆竖向设在支撑壳中，所述丝杆设在支撑壳的壳体口位置且位于导向杆的前部，所述丝杆的下部转动设在转轴支座上，所述转轴支座设在支撑台上，在所述支撑台上与导向杆的下端相对应的位置设有柱状凹槽，所述导向杆的下端设在柱状凹槽中且可在柱状凹槽中转动，在所述壳盖上与丝杆、导向杆相对应的位置分别设有转轴孔，所述丝杆的上端、导向杆的上端均分别与转轴孔相配合；
9、所述丝杆螺母旋拧在丝杆上，所述支撑板的一端及中部位置均分别开设有贯穿孔，所述支撑板的一端的贯穿孔套设在导向杆上，所述支撑板的中部位置的贯穿孔套嵌固定在丝杆螺母上；
10、所述托台设在支撑板的另一端；
11、所述壳盖上还设有传感器安装座，所述传感器安装座上设有用于位置检测的光电传感器，所述光电传感器的检测探头伸置于晶片收纳壳体中，所述光电传感器与所述第一驱动电机的控制器电连接，所述第一驱动电机的控制器与总控制器电连接；
12、所述晶片收纳壳体内的左右两侧相对应设置有在上下方向上排列布置的条状凸起板，每上下相邻两个凸起板之间形成为容置夹层；
13、所述丝杆的下端穿设过轴承支座和支撑台，所述丝杆的下端设有传动轮，所述第一驱动电机的动力输出端穿设过支撑台，所述第一驱动电机的动力输出端与传动轮通过皮带传动连接，在所述支撑部上的与所述第一驱动电机的动力输出端、传动轮及皮带相对应的位置开设有贯穿的容置槽结构，所述容置槽结构用于容置第一驱动电机的动力输出端、传动轮及皮带。
14、所述匀胶装置包括锅体组件、夹持组件以及注胶组件；
15、所述锅体组件包括升降部、中空轴旋转电机、锅体、锅盖、承片台，所述锅盖设在锅体上，所述升降部包括支架、第一气缸，所述支架设在支撑部的下部，所述第一气缸设在支架上，所述第一气缸的活塞杆端设有第一连接架，所述中空轴旋转电机设在第一连接架上，所述中空轴旋转电机的中空旋转轴上设有承片台；
16、所述锅体设在支撑部上，所述锅体的底部设有贯穿孔，所述贯穿孔用以使第一气缸的活塞杆通过，所述承片台设在锅体中；在支撑部的位于贯穿孔下部的位置设有穿过孔(图未示)，由于第一气缸设在支撑部的下面，该穿过孔用以使活塞杆通过。
17、所述承片台上设有同心环状布置的多个沟槽，在所述承片台的中部沿直径路径设有贯通所述的多个沟槽，所述承片台上设有通气道，所述通气道的上部开口于承片台的中部沟槽中，所述通气道的另一端开口于中空旋转电机的旋转轴的中空通道中。
18、所述夹持组件包括位于支撑部上且分别设在锅体两侧的左侧夹持装置、右侧夹持装置，所述左侧夹持装置包括第一容置箱、第一容置架，第二气缸、第三气缸、第一定位夹具、第一承片夹具，所述第一容置箱设在支撑部上，所述第一容置架设在第一容置箱中，所述第一容置架上设有第一架台，所述第二气缸设在第一架台的上部，所述第三气缸设在第一架台的下部，所述第二气缸的活塞杆端、第三气缸的活塞杆端均为朝向锅体设置；
19、所述第二气缸的活塞杆端设有第一定位夹具，所述第三气缸的活塞杆端设有第一承片夹具；
20、所述右侧夹持装置包括第二容置箱、第二容置架、第四气缸、第五气缸、第二定位夹具、第二承片夹具，所述第二容置箱设在支撑部上，所述第二容置架设在第二容置箱中，所述第二容置架上设有第二架台，所述第四气缸设在第二架台的上部，所述第五气缸设在第二架台的下部，所述第四气缸的活塞杆端、第五气缸的活塞杆端均为朝向锅体设置；
21、所述第四气缸的活塞杆端设有第二定位夹具，所述第五气缸的活塞杆端设有第二承片夹具。
22、所述第一定位夹具与第二定位夹具形状结构相同，所述第一定位夹具、第二定位夹具均包括定位夹具本体，
23、其中，在所述右侧夹持装置中，所述定位夹具本体的一端与第四气缸的活塞杆端固定连接；在所述左侧夹持装置中，所述定位夹具本体的一端与第二气缸的活塞杆端固定连接；
24、所述定位夹具本体的另一端分叉形成为两个凸起端，所述的每个凸起端上均本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种匀胶设备，其特征在于，包括机架、功能组件、空气过滤装置和电控系统，所述空气过滤装置设在机架的上部，所述机架中设有支撑部，所述功能组件设在支撑部上，所述功能组件包括设在所述机架中的用于上料的物料转运存储装置、匀胶装置、烘焙装置、在三维空间中移动的机械手传送装置、用于下料的物料转运存储装置，所述电控系统包括带有电源的总控制器，所述机械手传送装置上设有取料臂移动组件，在所述机械手传送装置的带动下，所述取料臂移动组件对功能组件进行匀胶工艺过程的连通。
2.如权利要求1所述的匀胶设备，其特征在于，所述用于上料的物料转运存储装置与用于下料的物料转运存储装置结构相同，即用于上料的物料转运存储装置与用于下料的物料转运存储装置均为物料转运存储装置；
3.如权利要求2所述的匀胶设备，其特征在于，所述升降组件包括立置的半包围结构的支撑壳、丝杆、丝杆螺母、导向杆、支撑板以及托台，所述支撑壳设在支撑台上，所述支撑壳的上部设有壳盖，所述导向杆竖向设在支撑壳中，所述丝杆设在支撑壳的壳体口位置且位于导向杆的前部，所述丝杆的下部转动设在转轴支座上，所述转轴支座设在支撑台上，在所述支
4.如权利要求1所述的匀胶设备，其特征在于，所述匀胶装置包括锅体组件、夹持组件以及注胶组件；
5.如权利要求4所述的匀胶设备，其特征在于，所述第一定位夹具与第二定位夹具形状结构相同，所述第一定位夹具、第二定位夹具均包括定位夹具本体，
6.如权利要求5所述的匀胶设备，其特征在于，所述的每个凸起端上均分别设有转轴安装孔，所述柱状体的下部设有连接转轴，所述连接转轴嵌置在转轴安装孔中；
7.如权利要求1所述的匀胶设备，其特征在于，所述烘焙装置包括底座、升降支撑部、烘干组件；
8.如权利要求7所述的匀胶设备，其特征在于，每个所述的支撑托架具有经过两次弯折形成的三段连接部，所述三段连接部包括第一连接部、第二连接部、第三连接部，所述第一连接部与第二连接部相垂直设置，所述第二连接部与第三连接部相垂直设置，所述第一连接部与第三连接部相平行设置，所述第一连接部的弯折朝向与第三连接部的弯折朝向相一致；所述第一连接部与第二安装板相连接，所述第三连接部伸置在承托盘的上部；
9.如权利要求1所述的匀胶设备，其特征在于，所述机械手传送装置包括上下移动组件、旋转运动组件、取料臂移动组件；
10.如权利要求9所述的匀胶设备，其特征在于，所述取料臂移动组件包括动力组件、上取料臂、下取料臂，所述动力组件有两组，分别设在转动台上部的两侧，所述的每组动力组件包括第三驱动电机、两个惰轮、两个同步带转动轮、同步带，所述第三驱动电机设在支撑托座上，所述的两个惰轮、两个同步带轮均设在转动台上且在同一条虚拟直线上设置，所述的两个惰轮位于所述的两个同步带轮之间，在所述转动台上与所述第三驱动电机的动力输出端相对应的位置开设有贯穿的同步带穿设槽，所述同步带绕设在两个惰轮、两个同步带轮、第三驱动电机的动力输出端上的转动轮；
...【技术特征摘要】
1.一种匀胶设备，其特征在于，包括机架、功能组件、空气过滤装置和电控系统，所述空气过滤装置设在机架的上部，所述机架中设有支撑部，所述功能组件设在支撑部上，所述功能组件包括设在所述机架中的用于上料的物料转运存储装置、匀胶装置、烘焙装置、在三维空间中移动的机械手传送装置、用于下料的物料转运存储装置，所述电控系统包括带有电源的总控制器，所述机械手传送装置上设有取料臂移动组件，在所述机械手传送装置的带动下，所述取料臂移动组件对功能组件进行匀胶工艺过程的连通。
2.如权利要求1所述的匀胶设备，其特征在于，所述用于上料的物料转运存储装置与用于下料的物料转运存储装置结构相同，即用于上料的物料转运存储装置与用于下料的物料转运存储装置均为物料转运存储装置；
3.如权利要求2所述的匀胶设备，其特征在于，所述升降组件包括立置的半包围结构的支撑壳、丝杆、丝杆螺母、导向杆、支撑板以及托台，所述支撑壳设在支撑台上，所述支撑壳的上部设有壳盖，所述导向杆竖向设在支撑壳中，所述丝杆设在支撑壳的壳体口位置且位于导向杆的前部，所述丝杆的下部转动设在转轴支座上，所述转轴支座设在支撑台上，在所述支撑台上与导向杆的下端相对应的位置设有柱状凹槽，所述导向杆的下端设在柱状凹槽中且可在柱状凹槽中转动，在所述壳盖上与丝杆、导向杆相对应的位置分别设有转轴孔，所述丝杆的上端、导向杆的上端均分别与转轴孔相配合；
4.如权利要求1所述的匀胶设备，其特征在于，所述匀胶装置包括锅体组件、夹持组件以及注胶组件；
5.如权利要求4所述的匀胶设备，其特征在于，所述第一定位夹具与第二定位...
【专利技术属性】
技术研发人员：任勇，谢立秋，陈婷婷，张欣铭，狄文康，马益轩，王秀峰，解琚凯，毕崎峰，陈宗卓，李泓宇，王飞，
申请(专利权)人：山东劳动职业技术学院山东劳动技师学院，
类型：发明
国别省市：
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