【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备制造，特别涉及一种回风装置及气浴系统。
技术介绍
1、随着半导体技术的不断发展，半导体制程对设备内部洁净度的要求也越来越高。因此，为避免灰尘或其他杂质的污染，设备内部布置有气浴系统。所述气浴系统一般包括送风管、回风管和过滤器等部件。其中，经过滤器过滤后的洁净气体由送风管输送至设备所在腔体内，以吹扫半导体设备。所述回风管设置于设备所在腔体内，用于将混有污染物的气体带离所述腔体，改善所述腔体的清洁度。然而，鉴于现有技术中回风管的结构设计及分布，腔体内的各个回风管之间的进风量存在较大的差距，则容易在腔体内形成涡流、局部流动死区或局部高速区等，甚至还会聚集污染物形成高污染区，严重影响半导体设备的洁净度和设备运行的稳定性。
2、因此，亟需一种新的回风装置，以解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种回风装置及气浴系统，以解决如何缓解气浴系统中回风装置进风量不均匀，如何提高半导体设备运行稳定性中的至少一个问题。
2、为解决上述技术问题，本技术提供一种回风装置，包括回风管和调风组件；
3、所述回风管的部分侧壁具有多个第一网孔，以使气体能够流入所述回风管；
4、所述调风组件包括多个挡板；所述多个挡板分别覆盖于所述回风管的外侧壁，且能够相对所述回风管移动，以经遮挡对应的所述第一网孔，分别调节所述回风管中各个区域流入的风量。
5、可选的，在所述的回风装置中，所述多个挡板分别覆盖于所述回风管上设置有所述第一网
6、可选的，在所述的回风装置中，所述挡板经若干个螺钉连接于所述回风管的外侧壁上，且所述螺钉对应的所述挡板上的螺孔为长腰孔，以使所述挡板能够沿所述长腰孔的孔向相对所述回风管移动。
7、可选的，在所述的回风装置中，所述回风管具有相对的两端，其中一端具有连通孔，以使流入所述回风管内的所述气体经所述连通孔流出。
8、可选的，在所述的回风装置中，所述调风组件还包括多个电机和多个连接杆；其中，所述电机设置于所述回风管的外侧壁上，且所述连接杆分别连接一个所述挡板和一个所述电机，以在所述电机的驱动下，所述连接杆带动所述挡板相对所述回风管移动。
9、基于同一构思，本技术还提供一种气浴系统，用于清洁半导体设备，其中，所述半导体设备容置于防护壳体内，并安装于所述防护壳体内的框架中，所述气浴系统包括：若干个所述的回风装置、过滤循环装置和多个送风管；
10、若干个所述回风装置设置于防护壳体内，且沿所述框架的外侧均匀分布；
11、所述过滤循环装置设置于所述防护壳体外，至少用于过滤气体；其中，所述过滤循环装置的输入端经所述送风管与所述回风装置相连通，所述过滤循环装置的输出端经所述送风管与所述防护壳体内相连通，以至少使所述回风装置内的回风经过滤后流入所述防护壳体内；
12、以及，经所述回风装置中挡板的调节，各个所述回风装置内的风量相同。
13、可选的，在所述的气浴系统中，当所述回风装置的数量大于或等于2时，所述气浴系统还包括集风装置；所述集风装置设置于所述防护壳体上，以及，与各个所述回风装置相接的所述送风管均与所述集风装置的输入端相连通，所述集风装置的输出端经所述送风管与所述过滤循环装置的输入端相连通。
14、可选的，在所述的气浴系统中，所述气浴系统还包括新风管；所述新风管与所述过滤循环装置的输入端相连通，以向所述过滤循环装置内提供新风。
15、可选的，在所述的气浴系统中，所述过滤循环装置包括风机和多个过滤器；所述风机用于驱动气体流动；所述过滤器用于过滤经所述新风与所述回风混合的混合风，以生成洁净风；其中，所述洁净风经所述过滤循环装置的输出端流出。
16、可选的，在所述的气浴系统中，所述送风管朝向所述防护壳体内输送的气体的流量大于所有所述回风装置中所述回风的风量之和，以使所述防护壳体内的气压大于所述防护壳体外的气压。
17、综上所述，本技术提供一种回风装置及气浴系统。其中，所述回风装置包括：回风管和调风组件；所述回风管的部分侧壁具有多个第一网孔，以使气体能够流入所述回风管；所述调风组件包括多个挡板；所述多个挡板分别覆盖于所述回风管的外侧壁，且能够相对所述回风管移动，以经遮挡对应的所述第一网孔，分别调节所述回风管中各个区域流入的风量。相较于现有技术，本技术提供的所述回风装置中设置了所述调风组件，并利用所述调风组件中的所述挡板分段式调节所述回风管各个区域的进风量，以确保所述回风管内进气量均衡。以及，在所述气浴系统中，经各个所述挡板的调节，每个所述回风装置内的进风量均相等，避免了因防护壳体内部分区域风量过大而形成涡流、局部高速区或高污染区等，以及避免因部分区域风量过小而形成局部流动死区等，有效保障设备运行的稳定性和设备空间高洁净度。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种回风装置，其特征在于，包括回风管和调风组件；
2.根据权利要求1所述的回风装置，其特征在于，所述多个挡板分别覆盖于所述回风管上设置有所述第一网孔的区域，且所述挡板具有多个第二网孔。
3.根据权利要求1所述的回风装置，其特征在于，所述挡板经若干个螺钉连接于所述回风管的外侧壁上，且所述螺钉对应的所述挡板上的螺孔为长腰孔，以使所述挡板能够沿所述长腰孔的孔向相对所述回风管移动。
4.根据权利要求1所述的回风装置，其特征在于，所述回风管具有相对的两端，其中一端具有连通孔，以使流入所述回风管内的所述气体经所述连通孔流出。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的回风装置，其特征在于，所述调风组件还包括多个电机和多个连接杆；其中，所述电机设置于所述回风管的外侧壁上，所述连接杆分别连接一个所述挡板和一个所述电机，以在所述电机的驱动下，所述连接杆带动所述挡板相对所述回风管移动。
6.一种气浴系统，用于清洁半导体设备，其中，所述半导体设备容置于防护壳体内，并安装于所述防护壳体内的框架中，其特征在于，所述气浴系统包括：若干个如权利要求1
7.根据权利要求6所述的气浴系统，其特征在于，当所述回风装置的数量大于或等于2时，所述气浴系统还包括集风装置；所述集风装置设置于所述防护壳体上，以及，与各个所述回风装置相接的所述送风管均与所述集风装置的输入端相连通，所述集风装置的输出端经所述送风管与所述过滤循环装置的输入端相连通。
8.根据权利要求6所述的气浴系统，其特征在于，所述气浴系统还包括新风管；所述新风管与所述过滤循环装置的输入端相连通，以向所述过滤循环装置内提供新风。
9.根据权利要求8所述的气浴系统，其特征在于，所述过滤循环装置包括风机和多个过滤器；所述风机用于驱动气体流动；所述过滤器用于过滤经所述新风与所述回风混合的混合风，以生成洁净风；其中，所述洁净风经所述过滤循环装置的输出端流出。
10.根据权利要求8或9所述的气浴系统，其特征在于，所述送风管朝向所述防护壳体内输送的气体的流量大于所有所述回风装置中所述回风的风量之和，以使所述防护壳体内的气压大于所述防护壳体外的气压。
...【技术特征摘要】
1.一种回风装置，其特征在于，包括回风管和调风组件；
2.根据权利要求1所述的回风装置，其特征在于，所述多个挡板分别覆盖于所述回风管上设置有所述第一网孔的区域，且所述挡板具有多个第二网孔。
3.根据权利要求1所述的回风装置，其特征在于，所述挡板经若干个螺钉连接于所述回风管的外侧壁上，且所述螺钉对应的所述挡板上的螺孔为长腰孔，以使所述挡板能够沿所述长腰孔的孔向相对所述回风管移动。
4.根据权利要求1所述的回风装置，其特征在于，所述回风管具有相对的两端，其中一端具有连通孔，以使流入所述回风管内的所述气体经所述连通孔流出。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的回风装置，其特征在于，所述调风组件还包括多个电机和多个连接杆；其中，所述电机设置于所述回风管的外侧壁上，所述连接杆分别连接一个所述挡板和一个所述电机，以在所述电机的驱动下，所述连接杆带动所述挡板相对所述回风管移动。
6.一种气浴系统，用于清洁半导体设备，其中，所述半导体设备容置于防护壳体内，并安装于所述防护壳体内的框架中，其特征在于，所述气浴系统包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：郎东春，徐凤森，颜小龙，周许超，袁林栋，陈朵朵，程宇，陈楠，吴建，许盼盼，齐会平，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。