【技术实现步骤摘要】
一个或更多个实施例涉及一种设备和方法,更具体地,涉及一种用于制造显示装置的设备、制造显示装置的方法以及掩模组件。
技术介绍
1、显示装置可视地显示数据。显示装置可通过使用发光二极管来提供图像。近来,显示装置的用途已经多样化。相应地,已经尝试显示装置的各种设计以改善显示装置的质量。
技术实现思路
1、一个或更多个实施例包括掩模组件,该掩模组件能够容易地进行厚度调节,改善耐用性,并且减少(或最小化)沉积材料穿过开口的堵塞现象。
2、然而,本公开的各实施例不限于在本文中陈述的那些。通过参考下面给出的本公开的详细描述,对于本公开所属领域的普通技术人员,以上和其他实施例将变得更加明显。
3、根据一个或更多个实施例,用于制造显示装置的设备可包括:腔室;掩模组件,设置在腔室内部以面对显示基板;以及沉积源单元,设置在腔室内部以面对掩模组件,供应沉积材料,并且将沉积材料通过穿过掩模组件沉积在显示基板上,其中掩模组件可包括:第一掩模层,包括第一掩模开口;以及第二掩模层,设置在第一掩模层
...【技术保护点】
1.一种用于制造显示装置的设备,其特征在于,所述设备包括:
2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第二掩模开口包括:
3.根据权利要求2所述的设备,其特征在于,在截面图中,所述第一有机开口的宽度大于所述第二无机开口的宽度,并且所述第一无机开口的宽度和所述第二无机开口的宽度彼此相同。
4.根据权利要求2所述的设备,其特征在于,在截面图中,所述第一无机开口的宽度、所述第一有机开口的宽度和所述第二无机开口的宽度彼此相同。
5.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,在截面图中,所述第一有机层的厚度大于所述第一无机层的厚度
...【技术特征摘要】
1.一种用于制造显示装置的设备,其特征在于,所述设备包括:
2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第二掩模开口包括:
3.根据权利要求2所述的设备,其特征在于,在截面图中,所述第一有机开口的宽度大于所述第二无机开口的宽度,并且所述第一无机开口的宽度和所述第二无机开口的宽度彼此相同。
4.根据权利要求2所述的设备,其特征在于,在截面图中,所述第一无机开口的宽度、所述第一有机开口的宽度和所述第二无机开口的宽度彼此相同。
5.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,在截面图中,所述第一有机层...
【专利技术属性】
技术研发人员:金桢国,宋昇勇,李德重,赵原济,
申请(专利权)人:三星显示有限公司,
类型:新型
国别省市:
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